[ エレクトロニクス ]

キヤノン、宇都宮の半導体露光装置の生産能力1.5倍に引き上げ−100億円投資

(2016/4/1 05:00)

キヤノンは栃木県の半導体露光装置工場の生産能力を年内に2014年比1・5倍に引き上げる。投資額は100億円規模とみられる。モノのインターネット(IoT)の普及を背景に同社が手がける光源がi線、フッ化クリプトン(KrF)の両装置需要は堅調とみて約5年ぶりの大型投資に踏み切る。「ナノインプリント露光」技術を使う次世代装置の量産体制の検討も始めた。苦戦が続いた露光装置事業は、守りから攻めへ転換する。

キヤノンは宇都宮事業所(宇都宮市)と阿見事業所(茨城県阿見町)で半導体露光装置を製造する。今回は主力の宇都宮事業所の既存工場に新たな機材や治工具を導入する。

同社のi線とKrF装置の合計販売台数は16年に、3年前に比べて倍増の86台まで増える見通し。増産投資で生産能力を確保し、20年にKrF装置の業界シェアを50%(現在は20%超)に引き上げる計画。またi線装置のシェアも現行の約70%を維持する...

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(2016/4/1 05:00)

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  • IoTの普及を背景に、必ずしも最新機能や性能を必要としない半導体の需要が拡大。比較的古い技術であるi線やKrFの露光装置のニーズが高まっている。キヤノンの手は。

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