２０１６真空展・紙上プレビュー（上）ＶＡＴほか

最先端の真空技術を紹介する「ＶＡＣＵＵＭ２０１６　真空展」（日本真空工業会、日本真空学会主催、日刊工業新聞社共催）が、９月７―９日に、パシフィコ横浜（横浜市西区）で開かれる。今回は「魅せます、未来を…真空で。」をテーマに、８６社・団体が出展する。開幕を前に注目製品や技術を紙上で紹介する。（３回掲載）

ＶＡＴ／真空バルブの高品質化追求

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ＶＡＴ（横浜市神奈川区、０４５・４４０・０３４０）の製品やサービスは半導体やディスプレー、太陽光パネル製造など幅広い工業と研究関連用途で使用されている。中でも真空バルブ（写真）は、規格品をベースに改良・改善を加えることで高品質を追求しているほか、ユーザーの要望に応じた特殊仕様バルブの設計にも対応する。

アルバック／充実のラインアップを紹介

アルバックは、真空総合メーカーとして幅広い産業や研究分野に製品を供給する。今回は、真空ポンプや真空計、成膜コントローラー、リークディテクターなど各種真空コンポーネントのほか、電子部品向け製造装置、真空蒸留装置、真空用材料など、同社およびグループ企業の新製品や充実したラインアップ紹介と実機展示を行う。

エドワーズ／カットモデルなども披露

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エドワーズ（千葉県八千代市、０４７・４５８・８８３６）は、ロータリーポンプなどの低真空用途から、ターボ分子ポンプやイオンポンプなどの高真空・極高真空用途まで幅広い製品群（写真）を誇る。今回はターボ分子ポンプや空冷式ドライポンプを国内初展示するほか、ドライスクロールポンプ「ｎＸＤＳ」などのカットモデルも披露する。

堀場エステック／自己温調型の隔膜式真空計

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堀場エステック（京都市南区、０７５・６９３・２３００）のキャパシタンスマノメーター「ＶＧ―２００」シリーズ（写真）は、コンパクトでオートメタル構造の自己温調型隔膜式真空計。自己温調型では最小クラスで、独自の電極構造により高精度・高安定を実現する。ダイヤフラムには耐食性に優れたニッケル合金を採用している。

シンクロン／薄膜形成装置中心に展示

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シンクロン（横浜市西区、０４５・６５０・２４００）は、コア技術であるプラズマプロセスを用いた各種薄膜形成装置を中心に展示する。中でも自社開発のイオン源によるイオンアシスト蒸着装置「ＥＰＤシリーズ」や、独自のスパッタプロセスによるロードロック式スパッタ成膜装置「ＲＡＳシリーズ」（写真）などが注目される。