光学技研、厚さ１０マイクロメートル以下の紫外光波長板開発−単一結晶板を研磨加工

【横浜】光学技研（神奈川県厚木市、岡田幸勝社長、０４６・２２４・２５５５）は、厚さ１０マイクロメートル（マイクロは１００万分の１）以下の単一結晶板による紫外光波長板「ＭＴ波長板」を開発した。結晶板を公差０・１マイクロメートル程度の精度で研磨加工し、手作業で洗浄した後、両面に反射防止膜を成膜する。半導体露光装置の高精度検査などに適した紫外光波長板の需要が高まっていることに対応した。

光学技研は研磨加工や反射防止膜の成膜などのノウハウを生かして、波長板の極薄化に成功。岡田社長は「厚さ５マイクロメートルまで薄くできる。このレベルはおそらく世界一」と話す。光学検査の高精度化につながる深紫外光や真空紫外光を用いた波長板は単一結晶板での加工が難しく、これまで２枚の結晶板を貼り合わせて製作していた。

波長板は光の偏光を制御するための部品で計測やレーザー加工などに使われる。偏光をどのように制御する...