素材・エネルギー
新日鉄マテなど2社、独社にLSI実装用接合ワイヤのライセンス
新日鉄マテリアルズ(東京都千代田区、山田健司社長、03・6859・6111)と日鉄マイクロメタル(埼玉県入間市)は17日、半導体のLSI実装用に用いる銅ボンディングワイヤの製造販売権を独ヘレウス(ハナウ市)に供与したと発表した。
新日鉄マテリアルズは同ワイヤで世界3位のシェア約2割。同じく世界2位のヘレウスに権利供与することで技術普及を加速する。同ワイヤのライセンス供与は2011年に金を材料にした同ワイヤ世界最大手の田中電子工業(東京都千代田区)に続き2社目。
これまで同ワイヤの材料はもっぱら金が使われてきた。低コスト化できる銅が着目されつつもLSI用で十分な性能を出せなかったが、07年に新日本製鉄と日鉄マイクロメタルがパラジウム被覆した高性能の銅ワイヤを共同開発し、銅ワイヤの普及に弾みがついた。
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