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主な荷主である日本エア・リキードの主力事業所に営業拠点を置き、液化酸素、液化窒素、液化アルゴン、炭酸ガスなどの産業用ガスの配送を手がけるほか、水素の輸送実績を持つ。

その後もフォトマスクブランクス、フッ化アルゴン(ArF)レジスト、多層膜材料、極端紫外線(EUV)レジストなどを手がけた。

研究チームは21年末に打ち上げられた高性能なJWSTによる観測で、アルゴンや硫黄の原子が電子を失い、イオンになった状態で存在するのを確認。

東邦アセチレン、産業ガス10%超値上げ 3月出荷分から (2024/2/15 素材・建設・環境・エネルギー1)

対象は酸素、窒素、アルゴン、混合ガス、水素ガスで値上げ率は10%以上。

トッパンフォト、米IBMと2ナノEUVマスク開発で契約 (2024/2/8 電機・電子部品・情報・通信1)

2ナノメートルノード以細の半導体の量産には、従来主流だったフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーを光源とする露光技術を超える高度な材料選択とプロセス制御の知識が必要になる。

二酸化炭素(CO2)やアルゴンといった不燃性の気体を入れているボンベが倒れていたのだ。

従来のアルゴンガスをエア(空気)に代替しており、運用コストを低減できる。

リンテック、耐熱性2倍のフォトマスク用防塵カバー開発 (2023/12/20 素材・建設・環境・エネルギー2)

EUV露光プロセスではこれまでのフッ化アルゴン(ArF)液浸など旧来型の露光装置向けと異なり、ペリクルの耐熱性を高める必要があった。

インドでは製鉄所向けの酸素、窒素、アルゴンのオンサイト供給事業を進めている。... 国内でアルゴン供給がタイト化する中、今後は半導体工場向けのオンサイトの大型ASUでアルゴンを製造し、供給する提案も検...

またアルゴンガスで酸化を防ぐことから補修時に後処理が不要で溶接欠陥になりにくいという。

半導体業界の需要は2024年度には回復するとみており、材料の出荷量も増えると考えている」 ―半導体分野では、レジストポリマーは最先端の極端紫外線(EUV)やフッ化アル...

足利銀、ものづくり企業展示・商談会開く (2023/11/23 金融・商品市況)

酸化物セラミックスのコーティングに特化して従来のアルゴンガスをエア(空気)で代替、装置を小型化する。

ニコンの通期、売上高6900億円に上方修正 カメラ販売増 (2023/11/10 電機・電子部品・情報・通信)

フッ化アルゴン(ArF)を用いた露光装置の据え付けが延期することなどを勘案した。

実験中の事故だけでなく大型飛行機の衝突や大規模な自然災害の発生といった場合にも備えて、放水やアルゴンガスの送気で液体ナトリウムを消火する仕組みを設置する。

関連設備工事の設計・施工に加え、構内に製造装置や貯槽を新設し窒素や酸素、アルゴンなどバルクガスの供給を行う。

10のマイナス4乗パスカルの真空度で、アルゴンやヘリウムなどのガスをイオン化。

大陽日酸、千葉に新設備 半導体向け希ガス増産決定 (2023/8/8 素材・建設・環境・エネルギー2)

供給能力は酸素ガスが毎時6万ノルマル立方メートル、窒素ガスが同12万ノルマル立法メートル、液化アルゴンが2100ノルマル立方メートル。

フッ化アルゴン(ArF)などEUVよりも旧世代の光源に多く使われており、自動車や産業機器など幅広い製品に搭載される半導体の製造に用いることから、中長期的な需要拡大が見込まれる。 ...

安全性向上へ資格取得支援 鈴商総合ガスセンター(埼玉県上尾市、熊沢秀社長)は、高圧ガスの中でも使用量が多い酸素・窒素・アルゴン・二酸化炭素を親会社の鈴木商館(...

光源に化合物のフッ化アルゴンを用いたArF液浸露光装置は、EUVより一世代前の露光装置。

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