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トッパンフォト、米IBMと2ナノEUVマスク開発で契約 (2024/2/8 電機・電子部品・情報・通信1)

2ナノメートルノード以細の半導体の量産には、従来主流だったフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーを光源とする露光技術を超える高度な材料選択とプロセス制御の知識が必要になる。

リンテック、耐熱性2倍のフォトマスク用防塵カバー開発 (2023/12/20 素材・建設・環境・エネルギー2)

リンテックは半導体回路パターンの微細化に対応できるEUV露光装置で、開発したペリクルの使用を想定。... EUV露光プロセスではこれまでのフッ化アルゴン(ArF)液浸など旧来型の露光装...

半導体業界の需要は2024年度には回復するとみており、材料の出荷量も増えると考えている」 ―半導体分野では、レジストポリマーは最先端の極端紫外線(EUV)やフッ化アル...

ニコンの通期、売上高6900億円に上方修正 カメラ販売増 (2023/11/10 電機・電子部品・情報・通信)

フッ化アルゴン(ArF)を用いた露光装置の据え付けが延期することなどを勘案した。

ネオンの国産化と半導体製造に不可欠な希ガスを増産し、サプライチェーン(供給網)強靱化に貢献する。 ... フッ化アルゴン(ArF)などEUVよりも旧世...

日本政府は、主に半導体製造に使うフッ化水素、フッ化ポリイミド、レジストの3品目の対韓輸出管理について、2019年7月に実施した厳格化措置を緩和することを決めた。... 特に半導体製造の洗浄工程などに使...

回路微細化をはじめ半導体の将来技術ロードマップの実現に向けて、三菱ケミカルグループの技術が貢献できる分野を幅広く探索する。... 30年度の売上高倍増に向け、既存事業では精密洗浄サービスの拠点拡充や、...

展望2023/ニコン社長・馬立稔和氏 カメラ製造、国内も視野 (2023/1/23 電機・電子部品・情報・通信)

光源にフッ化アルゴン(ArF)を用いた装置がドライ・液浸ともに伸びている。... 個人的な考えとしては、生産の一層の自動化といった、高いレベルの生産技術を開発する狙いで25年以降に国内...

フッ化アルゴン(ArF)の液浸やドライを中心に新品が伸びる。... 半導体の高性能化で試験時間が長くなり、メモリーやロジック半導体向け試験装置の需要拡大が続いていることが背景にある。&...

半導体露光大手、差別化を追求 三者三様の開発戦略 (2022/5/5 電機・電子部品・情報・通信)

ニコン、ArF液浸に磨き ニコンは、半導体デバイス構造の3次元化に対応した露光装置の開発に力を注ぐ。3次元化ニーズに対応した、フッ化アルゴン(ArF)液浸ス...

i線の半導体露光装置など非先端領域が伸びているが、新たに産業技術総合研究所(産総研)からフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置を受注するなど総じて堅調に推移しそうだ。&#...

i線に続く非先端技術のフッ化クリプトン(KrF)の引き合いも強く、両装置の販売台数は前年度比10台増の24台の予想だ。... ニコンは露光装置のラインアップとして光源にフッ化アルゴン&...

活況!半導体露光装置(下)ニコン 中古i線装置、販売好調 (2022/3/17 電機・電子部品・情報・通信)

「構造改革後、特定の顧客に対してフッ化アルゴン(ArF)液浸を売ってきたが、現在は新しい顧客にも売り込んでいこうとしている。... ミドルレイヤー(層)に必ずArF液浸...

活況!半導体露光装置(中)ASMLジャパン、最先端EUVの開発継続 (2022/3/16 電機・電子部品・情報・通信)

ただ、半導体はEUVだけではできず、フッ化アルゴン(ArF)液浸、ArFドライ、フッ化クリプトン(KrF)、i線まで含めた装置が必要になり、引き続きそれらの装置の改善も...

中古装置を中心に、光源にi線、フッ化クリプトン(KrF)を用いた非先端の装置が伸びる。... 特に、光源にフッ化アルゴン(ArF)ドライ、ArF液浸を使用した先端分野の...

ダイトーケミックス、福井に新工場棟 感光性樹脂増産 (2022/1/24 素材・医療・ヘルスケア)

フッ化アルゴン(ArF)に対応した品目を生産し、同品目の生産能力は福井工場の既存分と合わせて2・5倍となる。

ダイセルは半導体の需要拡大や微細化の進展を受け、レジスト用ポリマーの生産・研究開発体制を強化する。... ダイセルのフッ化アルゴン(ArF)レジスト用ポリマー事業は05年頃に立ち上がり...

住友化学、韓でフォトレジスト 需要増・BCP対応 (2021/9/1 素材・医療・ヘルスケア)

100%子会社の東友ファインケム益山工場に液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストの製造プラントを建設し、2024年度上期に稼働する。... 大阪工場では既存建屋に液浸ArFと極端...

フッ化アルゴン(ArF)液浸露光向けに加え、半導体の微細化に伴って高まることが予想されるEUV露光向けの需要拡大に応える。 ... 新棟ではさらなる微細化を見込み、最...

半導体に回路パターンを焼き付ける露光工程向けの感光材「フォトレジスト」は、液浸フッ化アルゴン(ArF)露光などに対応する最先端製品の生産能力を19年度比2・25倍に引き上げる。... ...

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