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EUV露光に対応するEUVマスクは描画パターンが多く、描画時間を大幅に短縮できるマルチ電子ビーム描画装置での製造が主流。
【立川】エリオニクス(東京都八王子市、七野実社長)は、電子ビーム描画装置のエントリーモデル「ELS―ORCA=写真」を13日に発売する。... 低ダメージ・...
日ノ出工場(同川崎区)から電子ビーム溶接機4台を移設するほか1台購入し、溶接を集約する。
真空容器内で電子ビームを使う溶融工程がなく開放空間で造形するため、航空宇宙関連など1辺1メートル以上の大型部品でも金型製作を待たずに短期間で生産できる。... 容器内での電子ビームなどによる溶融処理が...
電子ビームによる溶接加工の受託やレーザークリーニング装置を販売する東成エレクトロビーム(東京都瑞穂町)の担当者は、「みなさんの一番の困りごとを聞かせてほしい」と語った。
電子ビームを絞り、輝度を100倍に向上させる。... その上で絞りを二つから五つに増やし、線状に広がっていた電子ビームを点状に絞る。
従来のレーザーや電子ビームを金属のパウダーベッドに照射するタイプの造形方式と異なり、写真レベルの高解像度で描画できるインクジェットで、粉末金属にバインダーを選択的に塗布することで造形する。 &...
日立ハイテクは走査型電子顕微鏡(SEM)を応用して半導体回路の長さや幅、配線をつなぐ穴の直径などを測る「測長SEM(CD―SEM)」を1984年に製品化して以来、長さを...
対象材料の原子配列を観察可能な空間分解能を持つとともに試料への電子線照射量を大幅に減らせる。電子線に弱い多孔質材料の機能発現に重要な原子配列の特定などに活用できる。 このイメージング...
そのためには、X線の発生源となる蓄積リングに蓄えられる電子ビーム強度を一定に保たなければならない。... 全長が110メートルの線型加速器は、電子群を生成する電子銃、生成された電子群を集める集群システ...
この原理を利用した放射光施設は、主に電子にエネルギーを与える線型加速器、加速した電子を蓄積すると共に放射光源となる蓄積リング、放射光実験の場となるビームラインで構成されている。 &#...
優秀賞は東北大学大学院工学研究科の盧鑫氏の「アップリサイクルに基づいた金属サステイナブルシステムの構築」(新価値創成分野)、理化学研究所開拓研究本部の森本裕也氏の「アト秒時間幅の超短電...
電子線で人工細胞の細胞膜の流れを制御し2次元の図形を繰り返し描いたり消したりできる。... 成果は、バイオ技術系の国際科学誌電子版に掲載された。 電子ビームで誘発される仮想...
成果は、応用科学系の国際科学誌電子版に掲載された。 ... 電子ビームでチタンなどが蒸発することで正に帯電し、負に帯電処理した金属に電気的引力で窒化チタンのコーティング膜を形成した。...
電子ビーム蒸着やスパッタでは困難な密着性や厚膜の成膜が可能で、半導体以外でも保護膜形成用途などで応用できる。
容器と銅板の切削加工は、鏡石町の石川製作所と子会社のタマテック、電子ビーム溶接は郡山市の東成イービー東北に受け持ってもらい、容器の製造にめどをつけた。
