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記事検索結果
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高平坦ウエハーは子会社のシリコンテクノロジー(長野県佐久市)が、主に微小電気機械システム(MEMS)向けに酸化膜上にシリコン単結晶層を形成した「SOIウエハー」の基材用...
MEMSの厚みは0・01ミリメートルと薄く、爪に貼れる。... 厚さ10マイクロメートル(マイクロは100万分の1)のMEMSで振動と電気信号を変換する。... さらにMEMSが提示で...
微小電気機械システム(MEMS)は、シリコンなどの基板上に、電子回路や機械的に動くアクチュエーター(可動部分)などを作り込んだ部品である。... さらに、量子基底状態に...
研究開発用に配線を施したり、エッチングで微小電気機械システム(MEMS)のベースをつくったりするニーズもある。
プラスマイナス0・2マイクロメートル(マイクロは100万分の1)精度の位置決めにより、微小電気機械システム(MEMS)やハイブリッド接合、半導体向け3次元(3D...
高温下や、原子力発電の炉心近傍といった放射線の高い被ばく環境下などの極限環境で使えるため、微小電気機械システム(MEMS)センサーの実現などに向けたCMOS回路への応用が期待されている...
アズビルは今回の譲渡により、微小電気機械システム(MEMS)センサーやプラントの自律制御などの先進的なオートメーション領域に経営資源を一層集中させ、国内外の競争力強化や企業価値向上を目...
半導体事業で培った微小電気機械システム(MEMS)技術でシリコンウエハーを加工し、プリントチップを製造する。
試作では村田製の微小電気機械システム(MEMS)慣性センサーを搭載した、ドローンの機体制御に使うコントローラーを活用。
現在所属する事業開発課は、微小電気機械システム(MEMS)やバイオミメティクス(生物模倣)技術など将来に向けた柱の育成に注力している。
微小電気機械システム(MEMS)式触覚センサーで剪断力や圧力を測る。... インソールにMEMS式触覚センサーを三つ配置して、靴の表に取り付けた送信機で信号を解析用パソコンに送る。
浜松ホトニクスは、微小電気機械システム(MEMS)や光半導体などの独自技術を応用し、紫外光(UV)に高い感度を持つ小型で低価格の分光器「ミニ分光器マ...
研究開発の中核拠点とし、炭化ケイ素(SiC)パワー半導体をはじめとした化合物半導体や微小電気機械システム(MEMS)などの電子部品の量産に適した装置を開発する。 ...
【浜松】浜松ホトニクスは微小電気機械システム(MEMS)や光半導体などの独自技術を応用し、紫外光(UV)に高い感度を持つ小型で低価格の分光器「ミニ分...
開発主導型に転換する中で、電気自動車(EV)や微小電気機械システム(MEMS)関連など新規事業の立ち上げが続いている。
(木曜日に掲載) 産総研 デバイス技術研究部門 集積化MEMS研究グループ 研究グループ長 倉...
(編集委員・小川淳) 東芝の独自の微小電気機械システム(MEMS)技術を応用し、超小型チップ上に新型の熱伝導型のガスセンサーを一括して形成した。
青色レーザー光を微小電気機械システム(MEMS)ミラーで反射し、ミラーの角度を高速で上下左右に動かすことで、レーザー光線を面の光にする。