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半導体に回路パターンを焼き付ける露光工程向けの感光材「フォトレジスト」は、液浸フッ化アルゴン(ArF)露光などに対応する最先端製品の生産能力を19年度比2・25倍に引き上げる。... ...

中国では西安市と常州市に洗浄用薬品の高純度化を行う工場を持っており、その近隣に建屋を建設し、設備を増設する。... 半導体に回路パターンを焼き付ける露光工程向けの感光材「フォトレジスト」は、液浸フッ化...

【カギは感光材料】 半導体の高性能化に伴い、電子配線回路の微細化が進む。... JSRは液浸フッ化アルゴン(ArF)向けフォトレジストで世界シェアトップ、最先端の極端...

半導体回路の微細化に欠かせない「極端紫外線(EUV)露光」への期待感が高まっている。... これまでフッ化アルゴン(ArF)液浸など旧来型の露光向けでは使用されているも...

半導体装置、需要拡大続く 5G・IoT向けけん引 (2021/6/3 電機・電子部品・情報・通信2)

フッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置などの旧式機種の売り上げが当初想定より伸びているとみられる。

JSR、コア営業益600億円 新中計、半導体材料など強化 (2021/3/29 素材・医療・ヘルスケア)

石油化学系事業については事業構造改革を進める方針で、特にエラストマー事業に関してエリック・ジョンソン最高経営責任者(CEO)は「迅速な対応が必要だ」とし、「生産能力の最適化などを進めて...

同設備では、液浸フッ化アルゴン(ArF)や極端紫外線(EUV)プロセス向けレジストを生産する。... 同社は液浸ArFレジストで高いシェアを持つ。

ただ今の主流はあくまでフッ化アルゴン(ArF)露光用。次世代のEUV市場拡大を見据え、「ArFもEUVも両方できるよう体制を整えた」という。

富士フ、24年にEUVレジストのシェア10%へ (2021/1/5 素材・医療・ヘルスケア)

人工知能(AI)やIoT(モノのインターネット)、第5世代通信(5G)の普及で、半導体プロセスの微細化が進む。... 他社と差別化し、本格採用につなげる...

同社は計300億円を投資し、直江津工場(新潟県上越市)で主力のフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストの生産能力を現状比1・3倍、台湾では多層レジスト材料の生産能力を同1...

ニュース拡大鏡/住化、5G関連素材の事業化を加速 (2020/10/26 素材・医療・ヘルスケア)

同技術で生産した半導体は小型化・高性能化でき、情報処理量の多い5G機器向けで需要が増えると期待される。 ... 現在、100層以上の半導体の中でEUV露光はわずか数層で、大半は液浸フ...

信越化、日台でフォトレジスト増産 先端半導体向け (2020/10/16 素材・医療・ヘルスケア)

直江津工場で製造するレジスト製品のうち、主力のフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストの生産能力が現状比1・3倍、台湾では主力製品である多層レジスト材料の生産能力が同1・5倍となる。.....

住友化学、21年度に半導体材売上高1.5倍 EUVレジスト量産 (2020/2/27 素材・医療・ヘルスケア)

回路の微細化ニーズに対応して事業を拡大し、半導体材料を偏光板フィルムに次ぐ情報電子化学部門の柱に育てる。 大阪工場では、高機能な半導体の主要な製造プロセスとなっているフッ化アルゴン&...

大阪有機化学工業、半導体レジスト材拡充 金沢工場に新棟 (2019/10/30 素材・医療・ヘルスケア)

フッ化アルゴン(ArF)用や極端紫外線(EUV)用のレジスト材料を、半導体レジストメーカー向けに供給する。同社が世界トップシェアを誇るArF用材料の供給能力を、従来比1...

フッ化アルゴン(ArF)光源に比べ量産中の半導体への影響は小さいが、最も高価な微細品を対象とした意味でインパクトはある。 ... 半導体用フッ化水素酸などを主力とする...

化学各社、EUV向け素材の供給体制整備 (2019/6/27 素材・医療・ヘルスケア)

今EUV技術に期待が集まるのは、超高速通信の第5世代通信(5G)の実用化に伴い、半導体の微細化ニーズは一層高まるからだ。EUVは研究開発に長い期間を要し、この間、液浸フッ化アルゴン&#...

先端材料に加え、フッ化アルゴン(ArF)やフッ化クリプトン(KrF)フォトレジスト、3次元(3D)NAND型フラッシュメモリー向け製品など汎用品も期待で...

回路の微細化や多層化で、日本勢の強みである高品質材料のニーズが拡大している。 ... フッ化アルゴン(ArF)液浸と厚膜フッ化クリプトン(...

特に高機能・低コスト化の要求が強い、最先端半導体で使うフッ化アルゴン(ArF)用レジストは、同工場のみが手がける戦略製品だ。 ArF用レジストの主な需要地は日本ではな...

経営ひと言/JSR・杉本健上席執行役員「“超”最先端狙う」 (2017/10/30 素材・ヘルスケア・環境)

「フッ化アルゴン(ArF)に取って代われるのはまだ先」と見通すのは、JSR上席執行役員の杉本健さん。... ArF露光装置の年産200台と比べると需要差は大きそうだが「当面は並行して使...

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