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フィゾー干渉計による形状測定は、基本的に参照平面との差分測定なので、絶対精度は参照平面の精度によって決まり、ナノメートルレベルの絶対精度は容易には得られない。 特に、大型平面基板を測...

さあ出番/清原光学社長・一井洋孝氏 “主体的な強み”導く (2019/1/24 機械・ロボット・航空機2)

干渉計を中心に周辺機器を含めた事業軸を確立する。

微小電気機械システム(MEMS)光干渉計などによる高感度の分子吸着測定センサーと、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)イメージセンサー回路を組み合わせた。... MEMS...

清原光学、国産干渉計を再生 最新OS対応 (2019/1/8 電機・電子部品・情報・通信2)

消費税抜きの料金は干渉計の種類や状態により異なるが300万円前後。... 干渉計の使用期限は約30年と言われる。... 培ってきた干渉計のノウハウを生かし、計測レンジや計測目的に合わせたソフトウエアや...

産業技術総合研究所ナノスケール標準研究グループの平井亜紀子研究グループ長と長さ標準研究グループの尾藤洋一研究グループ長らは、シリコンウエハーの厚みを高精度に計測する両面干渉計を開発した。ウエハーの表と...

この標準器は高性能加振器、レーザー干渉計、計測制御装置からなり、レーザーの波長を長さの基準として加速度計の感度を校正できる。 ... このような低周波帯での加速度計校正は非常に難しく...

堀場雅夫賞は、京大大学院工学研究科の占部継一郎助教の「レーザー干渉計によるプラズマ電子密度計測の高速・高精度化」、名古屋大学大学院工学研究科の堤隆嘉助教の「高精度半導体プラズマプロセスのための基板温度...

キヤノンMJ、米アプレと販売代理契約 (2018/5/25 電機・電子部品・情報・通信2)

3種類の光源をオプションで用意したレーザー干渉計「S100 SRW=写真」など米アプレの9製品を国内で販売する。

■リモートセンシング 細かな地殻変動、新型干渉計で捕捉 【立入制限対応】 火山活動が活発化すれば、火口付近数キロメートル圏内は立ち入りが制限される。... ...

さらに二つの干渉計の計測データを組み合わせて補正し精度を高める。

NSSC、「KAGRA」にステンレス鋼供給 安定・精密性評価 (2018/3/13 素材・ヘルスケア・環境)

(1)重力波を検出するレーザー干渉計のレーザー光が通る超高真空ダクトに使う全長3000メートルのパイプ(2)付帯の超高真空配管・容器類(3)制御用アクチ...

研究グループは、金属で被覆した窒化シリコン膜を用い、電気回路と光干渉計が相互作用するようにした。

研磨皿の精度はニュートン原器での目視確認やピッチ面の高低差などを干渉計でデジタル化し、それを基に独自の技能で微修正する。

フーリエ変換赤外分光光度計は試料を短時間に、高い精度で特定が可能。... フーリエ変換赤外分光光度計は、成分を測定する試料に赤外線を照射し、透過したり反射したりする光の各成分を検出する。 &#...

かぐらは1辺3キロメートルのL字型のレーザー干渉計。... この3機の宇宙機が1辺250万キロメートルの巨大な三角形を描きながら飛行し、レーザー光を往復させて宇宙に浮かぶ巨大なレーザー干渉計を作る壮大...

受賞テーマは「重力波の観測とレーザー干渉計重力波観測所(LIGO=ライゴ)検出器への多大な貢献」。... これを含め、9月までに計4つの重力波が観測されている。 ...

開発に1年半かけて最近完成した「大型波長シフト干渉計」も顧客の要望から生まれた。ガラス基板の平行度を測定する同装置は光の波長を変えた際にガラス基板に表れる干渉縞(じま)の動きの変化を捉...

認定した製品・技術は、溝尻光学工業所(西品川)の大型波長シフト干渉計、テクノ菅谷(同)の歪・応力計、POOL(荏原)ミラクルペイント、ウェルキャット&#...

ロボット導入前は研削加工機1台で精密研削と研磨を行い、製造する光学素子の焦点距離に相当する高い位置に干渉計を置いて形状測定をしていた。

JIMTOF2016・紙上プレビュー(14)川田鉄工ほか (2016/11/16 機械・航空機2)

他の干渉計システムと同様に簡単にセットアップできる。

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