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元は核融合の水素燃料排出の真空ポンプ用だが、これをフィルターとしてウイルスを捕捉し、加熱する。

三星工業は浦川原工場を拠点に、産業用ロボットや半導体製造装置向け真空ポンプの部品の量産を手がける。

荏原は台湾に半導体製造装置のドライ真空ポンプの第2工場を建設する。... 荏原は精密・電子事業でドライ真空ポンプやCMP装置などの半導体製造装置を手がける。ドライ真空ポンプは半導体...

CADを使って2軸スクリューポンプを生み出し、そこから、各所に横展開させているのが当社のポンプ製品だ。 ... こんなポンプは世界のどこを見てもないだろう。従来は、脱泡をするには真空...

オリオン機械、90kWスクリュー真空ポンプ投入 大流量実現 (2023/3/14 機械・ロボット・航空機1)

オリオン機械(長野県須坂市、太田哲郎社長)は、同社初の90キロワットクラスの大型スクリュー真空ポンプ「KSE4800シリーズ=写真」の受注を4月3日に始める...

18年からは半導体装置向けの真空ポンプ部品の生産も開始した。

荏原、オーバーホール工場新設 福島で24年竣工 (2022/12/23 機械・ロボット・航空機)

荏原は半導体製造に使われるドライ真空ポンプのオーバーホール工場を福島県伊達市に新設する(完成イメージ)。... ドライ真空ポンプのオーバーホール工場は5カ所目で、東...

小型ロボット向け製品で新たに投入するのが真空ポンプユニット「EVP03シリーズ」だ。ロボットアームに搭載し、加工対象物(ワーク)を真空吸着して搬送するために使う。... ポンプを内蔵し...

島製作所、半導体向け増産・新規開拓 横型MC2台体制に (2022/12/5 機械・ロボット・航空機2)

今後、半導体製造に関わる真空ポンプ向けの仕事量増加も見込まれることから、1台追加を決めた。

生徒が独自学習する授業で、同社の真空装置の活用も想定する。中高生の理数系教育を支援するとともに、強みの真空ポンプや薄膜形成装置などの技術力をアピールしていく。

Japan Robot Week2022/歩き・話し・遠隔から… “人を手助け”... (2022/10/20 機械・ロボット・航空機1)

同時開催で、真空機器・装置の総合展示会「VACUUM2022真空展」では、半導体製造分野向けを中心とした意欲的な出展が目立つ。... 【VACUUM2022真空展】半導体支える真空ポンプ &#...

開発した装置は固体吸収材を入れる容器や加熱・冷却器、ガスを供給する配管、真空ポンプなどで構成される。

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(5) (2022/10/12 機械・ロボット・航空機2)

【大阪真空機器製作所/メンテ容易で高い耐久性のターボ分子ポンプ】 大阪真空機器製作所(大阪市中央区)は、磁気軸受型ターボ分子ポンプ「TG...

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(3) (2022/10/5 機械・ロボット・航空機2)

電子ビームボンバード間接加熱法を利用した真空蒸着源「BS―60610BDS=写真」は低ダメージ、低欠陥、低吸収、厚膜、ハイレートの成膜に適している。... 【荏原/小型軽量のドライ真...

真空ポンプ、コストパフォーマンスに優れた成膜材料、蒸着材料なども紹介する。

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(2) (2022/10/4 機械・ロボット・航空機2)

【アルバック/真空装置プロセス管理】 アルバックは「ピラニ真空計SW100」を出展する。... 【神港精機/ハードプロセスでも安定運...

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(1) (2022/10/3 機械・ロボット・航空機2)

【佐藤真空/高真空の熱処理装置】 佐藤真空(埼玉県三芳町)は、真空ポンプ、真空装置など真空機器の総合メーカー。... 真空ポンプの一つで...

チタンの特性である気体を吸着・吸収する能力を生かし、チタンで作った真空容器そのものを真空ポンプとした。真空ポンプを稼働し続けなくても、200日以上超高真空状態を維持した。... これにより、容器自体を...

また真空チャンバー内の圧力を従来より低くすることも可能。... 神港精機は真空ポンプを主力に成膜装置やプラズマ処理装置などを手がける。

新設備を導入し従来より6割程大型の真空チャンバーを製造するほか、生産性を3割高める。... 真空チャンバーを中心に真空ポンプや関連部品を製造する。

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