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三菱ケミ、福岡で半導体フォトレジスト材料を増産 (2024/6/13 素材・建設・環境・エネルギー1)

フッ化アルゴン(ArF)フォトレジスト用感光性ポリマーの設備を2025年10月、極端紫外線(EUV)フォトレジスト用同ポリマーの設備を25年9月に稼働する予定。ArFフ...

三井化、露光用CNTペリクルを量産化 岩国大竹工場を増強 (2024/6/12 素材・建設・環境・エネルギー1)

このため回路線幅の超微細化ニーズが高まっており、微細化回路形成用の極端紫外線(EUV)露光技術の採用が本格的に拡大している。 三井化学はEUV露光の環境に対応する高い...

富士フイルム、ファインケミカル攻勢 医薬品・半導体向け (2024/5/29 素材・建設・環境・エネルギー1)

PAGは、先端極端紫外線(EUV)向けの生産受託をさらに拡大。... 先端EUV向けの拡大につなげる。

EUV露光装置を複数導入 米半導体大手マイクロン・テクノロジーが2027年末にも先端DRAMの新工場を稼働することが分かった。26年早々に広島工場(広島県東広島市)の...

線幅数ナノメートル(ナノは10億分の1)世代の最先端半導体の製造に必要な極端紫外線(EUV)露光装置の開発からニコンとキヤノンが事実上撤退し、ASMLのみが供給できるよ...

TSMC副社長、蘭ASML製の半導体製造装置は高過ぎる (2024/5/16 電機・電子部品・情報・通信1)

アムステルダムで開催されたテクノロジーシンポジウムに参加したTSMCのケビン・チャン上級副社長はASMLの高NA(開口数)極端紫外線(EUV)露光装置について、「非常に...

ソーラーCに搭載する太陽が放射する紫外線(UV)と波長の短い極端紫外線(EUV)を測定する装置の開発に携わる。... EUVの観測ができることで、約1万度Cとなる表層部...

その後もフォトマスクブランクス、フッ化アルゴン(ArF)レジスト、多層膜材料、極端紫外線(EUV)レジストなどを手がけた。

前工程では北海道千歳市での生産拠点の建設や、極端紫外線(EUV)露光装置などの設備の導入を進める。

資金は前工程では北海道千歳市でのラピダスの生産拠点の建設や、極端紫外線(EUV)露光装置といった設備導入などを進める。

成長をけん引する高機能材料 三菱ケミカルG(3)半導体関連 (2024/4/2 素材・建設・環境・エネルギー2)

レジストポリマーは25年度めどに極端紫外線(EUV)で微細な露光対応での需要拡大を念頭に、材料も変わるとみて研究開発を積極化する。

大日本印刷(DNP)は27日、極端紫外線(EUV)リソグラフィーに対応した2ナノメートル(ナノは10億分の1)世代のロジック半導体向けフォトマスク...

ニッポンの素材力 トップに聞く(18)丸善石油化学社長・馬場稔温氏 (2024/3/19 素材・建設・環境・エネルギー1)

特にEUV(極端紫外線)などの先端材料が中心になるが、既存のKrfやArfも車載用途で需要が高まっているので積極的に増強していく」 ―石化再編の機運や脱炭素対応の重要...

同結晶は紫外レーザーの波長変換素子として、今や次世代半導体の製造に用いる極端紫外線(EUV)露光の前工程と後工程に必須の素材だ。

第66回十大新製品賞/本賞 レーザーテック (2024/2/9 機械・ロボット・航空機)

EUV露光は回路線幅7ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の微細プロセスに対応する最先端の半導体加工技術。... (横浜・青柳一弘) 【製品プロフィ...

トッパンフォト、米IBMと2ナノEUVマスク開発で契約 (2024/2/8 電機・電子部品・情報・通信1)

トッパンフォトマスク(東京都港区、二ノ宮照雄社長)は7日、米IBMと極端紫外線(EUV)リソグラフィーを使用した2ナノメートル(ナノは10億...

第66回十大新製品賞・喜びの声 (2024/1/26 総合3)

レーザーテック会長・楠瀬治彦氏 お客さまの高度な検査ニーズに対応し、高輝度の極端紫外線(EUV)プラズマ光源を自社開発した。

展望2024/AGC社長・平井良典氏 バイオ薬・半導体で成長 (2024/1/18 素材・建設・環境・エネルギー1)

25年度には元の成長軌道に戻る」 ―極端紫外線(EUV)露光用フォトマスクブランクスの好調は継続しますか。

マイクロンを中心にさらなる成長を目指したい」 ―マイクロン・テクノロジーは国の補助金を活用して極端紫外線(EUV)技術を導入し、先端半導体を生産する計画です。 ...

米GM、EV販売 昨年7.5万台 製造問題が足かせ (2024/1/5 自動車・モビリティー)

GMが23年に販売したEVは7万5000台で、その大半はコンパクト「シボレー・ボルト」とやや大型の「ボルトEUV」だった。

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