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【ターボ分子ポンプを出展‐島津製作所】 島津製作所は、ガラスコーティングや太陽電池関連装置で使用される毎秒1000―2000リットル級のターボ分子ポンプ「TMP―X1605」を出展す...

ターボ分子ポンプも日本、北米、韓国の半導体製造装置向けが好調だった。

【島津製作所/小型ターボ分子ポンプを出展】 島津製作所は一般産業向けに従来機種から高さを20%縮小したターボ分子ポンプ「TMP―B300形=写真」を出展する...

【京都】島津製作所は小型のターボ分子ポンプ「TMP―B300形=写真」を発売した。同社はこれまで半導体や液晶、太陽電池などの製造装置向けにターボ分子ポンプを商品化してきたが、同製品では一般的な...

アルバックはターボ分子ポンプで、同社として初となるセラミックス玉軸受型の製品「UTM300B=写真」を開発し10月1日に発売すると16日発表した。... ターボ分子ポンプの用途が多様化するなか...

産業機器では半導体や液晶の製造装置に使われるターボ分子ポンプのサービス拠点を6月に台湾の高雄市に新設。

ターボ分子ポンプなど産業機器は半導体製造装置向けなどが堅調に推移した。

出展各社は小型化や排気性能向上を実現した真空ポンプなど付加価値を高めた製品を展示ブースで披露。... 島津製作所も従来機比で高さを15%低減したターボ分子ポンプを展示。... 真空ポンプなど真...

キヤノンアネルバ(川崎市麻生区、酒井純朗社長、044・980・5111)は、ターボ分子ポンプの性能を引き上げる装置である冷凍トラップで、省スペース性を特徴とする新製品(写真&#...

【日本エリコンライボルト/軽質ガス向け真空ポンプ】 日本エリコンライボルト(横浜市港北区)スクリュー型ドライ真空ポンプ「LEYVAC」を展示する。... 【...

【電源一体型小型ポンプ/島津製作所】 島津製作所は電源一体型ながら小型化したターボ分子ポンプ「TMP―X3405=写真」を出展する。... 従来機種と比べて高さ寸法...

□■□■ 【真空ポンプを大幅小型化/荏原】 荏原は小型・空冷式ドライ真空ポンプ「EV―A10型=写真」を出展する。... 【保...

島津製作所も製造装置で真空状態を作り出すためのターボ分子ポンプが「(生産能力に対して)いっぱいになっている」(中本晃社長)状況にある。 ... 島津製...

高真空用途に対応したターボ分子ポンプ、拡散ポンプ、2段式ロータリーベーンポンプを開発。ターボ分子ポンプにはセラミックベアリングを採用し、油によるワーク(加工対象物)の汚染を防いだ。&#...

【京都】島津製作所は29日、腐食性ガスを使用するエッチング装置などにも対応した電源一体型ターボ分子ポンプ「TMP―X2905シリーズ」「同X3405シリーズ=写真」を9月2日に発売すると発表し...

「通常の真空ポンプに比べて3割近く安い」(担当者)と説明する。 【用途広がる】 島津製作所が参考出品する電源一体型ターボ分子ポン...

【大阪真空機器/コントローラーと電源の一体型】 大阪真空機器製作所の磁気軸受ターボ分子ポンプ「Kine TiGシリーズ」はコントローラーと電源の一体型のため、出力ケ...

【島津製作所/高効率制御電源で省エネ】 小型で排気速度3000L/sクラスの電源一体型ターボ分子ポンプ「TMP―X3405LMC」を参考出品する。

【伯東/メンテナンスフリー実現】 伯東はドイツ・ファイファーバキュームの磁気浮上型ターボ分子ポンプ「HiPace300M=写真」「同700M」を展示する。... 米...

産業機器事業は半導体製造装置向けターボ分子ポンプの需要が伸び、売上高291億円(前期比39・9%増)と過去最高になった。

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