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記事検索結果
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TOTOが増産するのは、エッチング装置の一部で「チャンバー」と呼ぶ真空容器の関連部材と、ウエハーを固定する静電チャックの二つ。
試験体を入れるチャンバー内の圧力をほぼ真空の350パスカルにして気体の移動時間を短縮し、1部品当たりリーク(漏れ)検出時間をヘリウムガスを使った上位機種と同等の60秒間にした。
換気装置には日射で温められて上昇する空気を窓上部の回転ドラム型チャンバーに取り込み、滞留時に屋内側を閉じて屋外側を開くインターロック制御で排出する独自機構を採用。
試験研究用チャンバーでインフルエンザウイルス、1床の病室を想定した除菌実験で黄色ブドウ球菌をいずれも99%以上死滅できることを確認した。
現在の主力の樹脂窓「APW330」に比べ、はるかに大きな枠の断面を確保することでチャンバー(空気層)も厚くし、フレームの断熱性能を大きく向上させている。
ドラフトチャンバー内の有害な化学物質から作業者を保護するため、チャンバー前面のサッシを開閉して排気量を調節する際、ダンパーがサッシの開閉に対応して1秒以内に風量を調節する。
成膜室内にトルエンガスを満たし、電源と電極の間に通すマッチングボックスがワーク、ガス、チャンバーのインピーダンス(電気抵抗量)と電磁波の周波数を調律してプラズマを発生させて成膜する。&...
コーティング材を均一な粒子で霧状とし、温度を管理したチャンバー内で圧縮機の旋回部品表面に定着させる技術を確立。
高精度で素早く位置決めし、チャンバー内の風量を一定に保つ。... 開閉にかかる時間は約1秒以内と短く、チャンバーの扉を開けるなど急な風量変化にもすぐに対応できる。
手作業でウエハーをセット後、チャンバー内への窒素ガス充填(じゅうてん)から薄膜材料の滴下、回転による薄膜形成、エッジ・裏面洗浄までを自動化した。
【赤田工業/試験研究用チャンバー】 赤田工業(長野県池田町)は大学や研究機関向けの試験研究用セミオーダー型真空チャンバーを展示する。
欧州機の修理をきっかけに、1957年に手動式、足踏み式のホットチャンバーダイカストマシンを製造、2年後には空気圧式、1973年には油圧式全自動機を開発した。
開発した装置は電極を製膜するスパッタリング装置も同じチャンバー内で使えるようにしており、低コストでカーボン薄膜太陽電池に関する一連の開発を行える装置にした。
装置価格は、同社従来品の半額以下で、チャンバー内の成膜エリアを同品の2倍を実現。... 最適な成膜環境をつくるため、電源―電極間に通すマッチングボックスが、ワーク、ガス、チャンバーのインピーダンス&#...
設楽製作所(東京都江戸川区、三好朝久社長、03・3687・8531)は、水洗い可能で衛生管理をしやすくしたチャンバー式真空包装機「SHITARA(シタラ)WF―920&...
エビスは溶湯が凝固しかけている状態(固液共存相)で、チャンバー方向(外面)に向かう横方向の流れが生じ、外面で上昇流となる現象に着目。... チャンバーの外側両側にコイル...
