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同社は半導体フォトマスク欠陥検査装置の大手メーカーだが、特に最先端分野であるEUV(極端紫外線:Extreme Ultraviolet)用フォトマスク向けでは独占的なポ...

現在半導体大手は極端紫外線(EUV)露光を用いて線幅2ナノメートル(ナノは10億分の1)の実現を目指している。

半導体露光大手、差別化を追求 三者三様の開発戦略 (2022/5/5 電機・電子部品・情報・通信)

蘭ASML、キヤノン、ニコンの大手3社のうち、唯一極端紫外線(EUV)露光装置の開発に成功しているASMLが市場トップを独走する。

最先端のEUV(極端紫外線)技術を使った露光装置向けマスクの検査装置用光学系部品の販売も伸びており、25年度までに生産能力を現在の2倍程度に引き上げることを検討する。

ニュース拡大鏡/ニコン、事業モデル転換 「コト売り」に注力 (2022/4/20 電機・電子部品・情報・通信1)

最先端のEUV(極端紫外線)対応の露光装置の開発から撤退したため、最近の半導体スーパーサイクルの恩恵も受けていない。

極端紫外線(EUV)関連装置の増産対応、細胞受託生産関連などで設備投資を行うほか、材料加工やヘルスケア領域などでM&A(合併・買収)も計画する。 ...

部材供給の制限は受けるものの、計画通り出せている」 ―極端紫外線(EUV)関連コンポーネントが好調です。

現在最先端の半導体製造には「極端紫外線(EUV)露光」装置が使われているが、同社は同装置の開発からは撤退している。

活況!半導体露光装置(下)ニコン 中古i線装置、販売好調 (2022/3/17 電機・電子部品・情報・通信)

(ASMLが供給を独占する)極端紫外線(EUV)の導入が進んでいるが、3次元NAND型フラッシュメモリーや相補型金属酸化膜半導体(CMOS)センサーは今...

活況!半導体露光装置(中)ASMLジャパン、最先端EUVの開発継続 (2022/3/16 電機・電子部品・情報・通信)

「(半導体性能が1年半から2年で2倍になるという)ムーアの法則は今後10年以降も続いていく見通しで、それを中心的に支えるのが最先端の極端紫外線(EUV)露光装置。

需要が増加するArF(フッ化アルゴン)レジストやEUV(極端紫外線)レジスト向けの新規材料の研究開発を推進し、高品質化の要望に対応する。

極端紫外線(EUV)露光プロセスが適用される最先端ロジック半導体の配線工程で使われる材料を生産する。

AGCは25日、最先端の半導体製造プロセスである極端紫外線(EUV)露光用部材の生産能力を2024年までに現在の2倍に増強すると発表した。

極端紫外線(EUV)露光向けフォトレジストの生産を控えるなど順調に成長しているが、まだまだ飛躍する余地がある。

ASML、ベルリン工場火災で一部閉鎖 (2022/1/6 電機・電子部品・情報・通信1)

同工場はASMLの先端EUV(極端紫外線)装置に使うウエハークランプやミラーブロックなどを生産している。

高度300キロメートル程度の大気は太陽の極端紫外線などによって一部電離されイオンと電子に分かれプラズマと呼ばれる状態となっており、電離圏と呼ばれる領域を形成している。 .....

半導体装置、生産性向上・微細化に商機 5G・IoT追い風 (2021/12/21 電機・電子部品・情報・通信1)

微細化需要の高まりを背景にEUV(極端紫外線)露光工程の導入拡大が見込まれる一方、EUVは従来の露光方法と比べて回路線幅のばらつきが生じやすいなどの課題がある。

これから半導体産業の成長が期待される国でのシェア獲得と、極端紫外線(EUV)向けへの供給も今後は想定し、研究開発を推し進める。

新機能付与/少量多品種を製造 半導体の超微細加工の光源としてEUV(極端紫外線)レーザーの開発が進むことを前回紹介した。

機能化学6社の4―9月期、5社増収増益 半導体材料が押し上げ (2021/11/16 素材・医療・ヘルスケア1)

半導体回路の微細化に寄与する極端紫外線(EUV)露光向けフォトレジストなどが好調なJSRは、今後も半導体材料を中心に高成長が続くと見込み、22年3月期連結業績予想を上方修正した。

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