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ただ今の主流はあくまでフッ化アルゴン(ArF)露光用。

そこでイオンミリングという手法でアルゴンイオンを試料表面に照射し、試料原子を弾き飛ばして表面を削ることで、鉄鋼材料の各種結晶組織や介在物に対してナノ・ミクロスケールでの明瞭な表面電位分布測定に成功した...

富士フ、24年にEUVレジストのシェア10%へ (2021/1/5 素材・医療・ヘルスケア)

液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストなどで培った知見も生かす。

石英ガラスの研磨プレートおよびダイヤモンド基板にアルゴンベースの酸素プラズマを照射し回転研磨すると、基板上の100マイクロメートル(マイクロは100万分の1)超の段差がなくなり、平面度...

独り勝ち中国 日系化学・繊維の戦略(6)半導体需要取り込む (2020/12/16 素材・医療・ヘルスケア)

酸素や窒素、アルゴンといった産業ガスの用途は幅広く、その市場動向は経済の動きと密接な関係があるとされる。

HIPは超硬合金を高圧容器に内蔵された電気炉の中に入れ、アルゴンガスによるガス圧と高温を同時に加え、加圧再焼結を行う。

ヒートショック予防 LIXIL、体感型ショールームで啓発 (2020/11/25 建設・生活・環境・エネルギー)

昔の家は単層ガラスの窓にアルミニウム製サッシ、今の家はペアガラスの窓にアルミと樹脂の複合サッシ、これからの家はペアガラスの中にアルゴンガスを入れ、アルミと樹脂の複合サッシを使う。

同社は計300億円を投資し、直江津工場(新潟県上越市)で主力のフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストの生産能力を現状比1・3倍、台湾では多層レジスト材料の生産能力を同1...

山梨県、産業大賞にVISTA (2020/10/30 東日本)

世界的に供給不足が懸念されるヘリウムガスを用いた一般的な気密度試験装置「リークディテクタ」に代わり、安価なアルゴンガスなど別の気体を用いて自動車部品などの気密試験が行える「アルゴンリークディテクタ&#...

ニュース拡大鏡/住化、5G関連素材の事業化を加速 (2020/10/26 素材・医療・ヘルスケア)

現在、100層以上の半導体の中でEUV露光はわずか数層で、大半は液浸フッ化アルゴン(ArF)露光という。

VISTA/アルゴンガスでリークチェック VISTA(山梨県富士吉田市、0555・23・0501)は、アルゴンガスや窒素ガス、大気などを用いて、光学式の気密...

ヘリウムガス代替で注目 VISTA(山梨県富士吉田市、大迫信治社長、0555・23・0501)が開発したアルゴンガスで気密部品をリークテストできる「アルゴンリークディ...

信越化、日台でフォトレジスト増産 先端半導体向け (2020/10/16 素材・医療・ヘルスケア)

直江津工場で製造するレジスト製品のうち、主力のフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストの生産能力が現状比1・3倍、台湾では主力製品である多層レジスト材料の生産能力が同1・5倍となる。

VACUUM2020真空展 ONLINE/注目の製品・サービス(1) (2020/10/14 機械・航空機1)

またアルゴンガスの吸蔵量が従来品比2倍に増えた。

溶接ロボを6台導入し、溶接用ワイヤは約100種類、アルゴンや炭酸など溶接用ガスも幅広くそろえる。

理研ワールド、炭素メッキ加工受託 小ロットから開始 (2020/9/8 素材・医療・ヘルスケア)

今回の炭素メッキは約500度Cの溶融塩を溶媒に、酸素を遮断したアルゴン雰囲気で加工処理する。

産業ガス/安定供給力を強化 (2020/8/5 特集・広告)

産業ガスとは製造プロセスで使用されるガスのことで、酸素、窒素、アルゴンなどがある。

岡谷酸素、国産アルゴンガス投入 食品添加物向け (2020/6/25 建設・生活・環境・エネルギー1)

同社によれば、国内での食品添加用アルゴンガスの製造は初の試み。... アルゴンガスは2019年6月から国内で食品添加物として利用が認められている。岡谷酸素は20年3月にアルゴンガスの食品営業許可...

大阪ガスリキッド、シンガポール投資会社に出資 (2020/6/22 建設・生活・環境・エネルギー)

SIGVNはベトナム南部のビンズン省にプラントがあり、2012年から窒素や酸素、アルゴンの製造・販売を行う。

魁半導体、液体原料から粉体生成 研磨剤・カラム用 (2020/5/11 電機・電子部品・情報・通信)

半導体プロセスで使われるTEOSやHMDS(ヘキサメチルジシラザン)など液体原料と窒素やアルゴンなどのキャリアガスを混ぜて気体化、プラズマ処理して粉体や多孔体を生成する。

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