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偏光回転角は膜厚1マイクロメートル(マイクロは100万分の1)当たり8度で、5・6マイクロメートルの膜厚で45度回転させられる。偏光を利用した光アイソレーターの膜厚を40分の1に抑えら...

東芝、四日市工場に1400億円投資 今年度計画分を完了 (2018/3/28 電機・電子部品・情報・通信1)

夏頃をめどに、最先端の成膜装置やエッチング装置などを導入する計画。

既存の膜上に再成膜して平滑度を高めた。量産型成膜装置を大陽日酸と共同開発し、2021年10月の市場投入を目指す。 ... 成膜時の原子の運動エネルギーが大きく、表面が平滑に仕上がる。

東京エレク、MRAM開発で米社協業 40―50%小型化へ (2017/10/24 電機・電子部品・情報・通信1)

東京エレクトロンが持つMRAM向け成膜装置と、メモリーの低消費電力化につながるSTTの技術を組み合わせる。

2017真空展・紙上プレビュー(下)入江工研ほか (2017/8/30 機械・航空機2)

【日立造船/高性能成膜装置を展示】 日立造船は高性能ロールツーロール成膜装置をパネル展示する。同装置はスマートフォンや液晶テレビ、太陽光パネルなど幅広い分野の製造プロセスに...

新役員/日新電機−執行役員・西川公人氏ほか (2017/8/29 電機・電子部品・情報・通信1)

■執行役員研究開発本部材料技術開発研究所長 西川公人氏 【横顔】「七転び八起き」をモットーに、セラミック材料開発、化合物半導体や新材料の成膜装置事業などに長く携わる。

半導体製造装置メーカーが絶好調だ。... 検査装置や成膜装置などを手がける日立ハイテクノロジーズは、米国や台湾の拠点で顧客向けのデモ装置を増やす。... 最先端の成膜技術とそれを活用した高機能製品、新...

【高知】高知工科大学総合研究所マテリアルデザインセンターと住友重機械工業技術研究所は、成膜プロセスと連続して材料や成膜した薄膜を低温・高速に酸化する技術を開発した。プラズマ薄膜成膜装置内で酸素負イオン...

日立ハイテク、半導体ウエハー成膜装置でフィンランド社と協業 (2017/2/1 電機・電子部品・情報・通信1)

日立ハイテクノロジーズは半導体ウエハーの成膜装置事業で、フィンランドのピコサンと協業する。ピコサンの成膜装置に日立ハイテクのプラズマ技術を組み合わせ、プラズマ原子層堆積(PE―ALD)...

今後、価格が1000万―3000万円程度の塗布成膜装置を新たに商品化し、年間3億円の売上高を目指す。 ... 同社はこの薄膜積層工法や塗布重量自動計測のノウハウを...

深セン市和勝金属技術は神戸製鋼所の大型成膜装置を導入し、2017年2月に操業を始める。

一方、IoT向けでは先端技術を活用する半導体は少なく、製造装置も先端装置に比べて安価で利幅が薄い。... 日立国際電気はAI技術を活用した成膜装置を開発中。ウエハー上の膜の性能変化などを把握できるよう...

2016真空展・紙上プレビュー(上)VATほか (2016/8/29 機械・ロボット・航空機2)

今回は、真空ポンプや真空計、成膜コントローラー、リークディテクターなど各種真空コンポーネントのほか、電子部品向け製造装置、真空蒸留装置、真空用材料など、同社およびグループ企業の新製品や充実したラインア...

各種部品の低温耐久性検査、細胞の保存などに用いるチラー(冷却装置)の代替需要を見込む。... これまでに取り組んだ新規事業のうち、ダイヤモンド厚膜合成(コーティング)な...

【千葉】ナノテック(千葉県柏市、中森秀樹社長、04・7135・6111)は、異なる物性のダイヤモンド・ライク・カーボン(DLC)膜を1台で成膜できる...

スラリー調製タンクや塗布装置のほか、乾燥機、成形機、焼成炉、積層機を導入し、焼成は従来のバッチ式から連続式にした。紙を巻き取り搬送するなど自社のロール・ツー・ロール成膜装置の技術も利用した。 ...

キヤノンアネルバ(川崎市麻生区、酒井純朗社長、044・980・5111)は、半導体製造で使う成膜装置向けの隔膜真空計「キャパシタンスゲージ=写真」の新製品を発売した。 ...

神鋼、CVD式で参入−DLC成膜、デンソーから技術 (2016/2/17 素材・ヘルスケア・環境)

神戸製鋼所はダイヤモンド・ライク・カーボン(DLC)膜の成膜速度を5倍以上に高めた成膜装置を投入した。... DLC成膜装置は自動車部品や工具、金型などの表面にDLC膜をコーティングし...

子会社のTOTOマテリア土岐工場(岐阜県土岐市)に成膜装置とハンドリング用のロボットを導入し、量産を始めた。 ... 30秒に1枚のペースで成膜できる。... 成膜技...

すでに金属成膜装置などの高機能商品と回転機で2人の専門家を育成。

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