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ニデック、白内障手術装置にねじれ振動追加 水晶体の破砕力向上 （2019/7/11 ヘルスケア）
従来機種の振動は縦方向のみだった。... 従来機種「フォルタスキューブ」からハンドピースとチップを改良し縦振動と、ねじれ振動の両方を可能にした。ねじれ振動の追加により破砕力が上がるほか、振動時に発生す...
パナソニックとIMEC、共振特性高く低電圧駆動のMEMS共振器 （2010/12/7）
三角柱形状のシリコン単結晶振動部と、シリコンゲルマニウム薄膜を利用した真空パッケージ技術で実現した。... 薄膜生成とエッチング技術の工程を繰り返し、シリコン単結晶振動部やポリシリコン電極などを作って...
