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宮島准教授らは、シリコンヘテロ接合太陽電池向けの水素化アモルファスシリコンについて、スパッタ法の一つである「対向ターゲットスパッタ」を使うことで、SiH4ガスを用いずに形成できることを確認した。...

従来製法の「スパッタ法」と同等以上の速度で成膜ができると想定する。 ... スパッタ法は真空、高温の環境が必要だが、ミストデポジション法は大気圧で成膜ができる。

レーザー照射箇所を高速カメラで撮影し、金属粉や溶融スパッタの飛散を数える。... プロセス条件から空孔量や硬度を予測するよりも、金属粉や溶融スパッタの数を説明変数に加えた方が予測精度は向上した。

同製品はPET材基板に透明な電導膜である酸化インジウムスズ(ITO)をスパッタで付与し、電気を流して温める仕組み。

復権 半導体/JX金属執行役員・諏訪邉武史氏 スパッタ材新工場急ぐ (2023/12/15 素材・建設・環境・エネルギー)

成膜方法の一つであるスパッタリングにおいて、薄膜を形成するために用いられるスパッタリングターゲットの最大手であるJX金属。世界シェアは約60%にも上り、茨城県内では複数の設備増強も進む中、人材...

低温焼結に適したターゲット材を新たに作製し、スパッタ成膜法により薄膜形成する。

半導体、有機ELスパッタ装置や、車載向けパワー半導体分野、スタートアップ企業からも装置案件が寄せられており、それをどう実現していくかをこれから決めていくところだ」 ...

東邦鋼機、窒化アルミテンプレート開発 高効率・低コスト実現 (2023/12/6 電機・電子部品・情報・通信2)

三重大学大学院工学研究科の三宅秀人教授が開発した独自のスパッタ・アニール法に基づき、東邦鋼機製作所が量産に成功した。

こうしたノウハウを生かし、バリ取りや面取り、研磨と溶接スパッタ落としなどに特化したロボットシステムを外販する。

密度や加工位置が異なる2種類のレーザーを同時照射することでスパッタを削減し、加工対象物(ワーク)の減肉を抑制する。

VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(4) (2023/11/1 機械・ロボット・航空機1)

【芝浦メカトロニクス/ロードロック室搭載スパッタ】 芝浦メカトロニクスは各種センサーやウエハー、発光ダイオード(LED)など、顧客の幅広い用途に適したロード...

ハンダの接合不良や溶接時に発生したスパッタ(飛散)による金属の粒などが、製品内に残っていないかを音で判別する。

VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(2) (2023/10/26 機械・ロボット・航空機1)

【シンクロン/ALD法など高難度成膜技術】 シンクロン(横浜市西区)は、蒸着とスパッタの両方式の進化に技術力で貢献し、真空薄膜の可能性を広げてきた。

自動での研磨と溶接スパッタ落としが可能となり、溶接前後の工程を自動化し省人化できる。

村田ツール/重切削可能なディスク式バリ取り機 (2023/8/21 新製品フラッシュ2)

村田ツールは板金加工時に発生するドロスやスパッタ、バリに対して重切削が可能なディスク式バリ取り機「DB1000H」を発売した。

ロールツーロールのスパッタ法でセンサーを作製した。

同社はこれまで高品質のレーザー溶接や高速パイプ圧延の技術開発を進め、温間圧延対応の高速圧延機や、スパッタやヒュームを抑制するレーザー造管機などを開発してきた。

【京都】村田機械子会社の村田ツール(岐阜県美濃加茂市、村田洋介社長)は、板金加工時に発生するドロスやスパッタ、バリに対して重切削が可能なディスク式バリ取り機を12日...

東北大、コバルトマンガン鉄合金発見 (2023/6/14 科学技術・大学)

スパッタで成膜でき、産業応用しやすいと見込まれる。

加えてスパッタ抑制制御技術を進化させ、二酸化炭素(CO2)溶接では不安定な260アンペア領域でスパッタ量を62%削減した。

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