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企業研究/エア・ウォーター(3)産業ガス、地産地消で供給 (2021/4/21 建設・生活・環境・エネルギー2)

酸素や窒素、アルゴンといった産業ガスは鉄鋼や半導体、食品など幅広い産業で製造に欠かせない副資材や中間材料で使われる。

モデル化合物で試したところ、温度100―150度Cで10%水素濃度のアルゴンガスで加水素分解が起きた。

JSR、コア営業益600億円 新中計、半導体材料など強化 (2021/3/29 素材・医療・ヘルスケア)

半導体材料事業については極端紫外線(EUV)、液浸フッ化アルゴン(ArF)向けリソグラフィー材料を四日市工場(三重県四日市市)で増産。

同設備では、液浸フッ化アルゴン(ArF)や極端紫外線(EUV)プロセス向けレジストを生産する。

ただ今の主流はあくまでフッ化アルゴン(ArF)露光用。

そこでイオンミリングという手法でアルゴンイオンを試料表面に照射し、試料原子を弾き飛ばして表面を削ることで、鉄鋼材料の各種結晶組織や介在物に対してナノ・ミクロスケールでの明瞭な表面電位分布測定に成功した...

富士フ、24年にEUVレジストのシェア10%へ (2021/1/5 素材・医療・ヘルスケア)

液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストなどで培った知見も生かす。

石英ガラスの研磨プレートおよびダイヤモンド基板にアルゴンベースの酸素プラズマを照射し回転研磨すると、基板上の100マイクロメートル(マイクロは100万分の1)超の段差がなくなり、平面度0・5マイクロメ...

酸素や窒素、アルゴンといった産業ガスの用途は幅広く、その市場動向は経済の動きと密接な関係があるとされる。

HIPは超硬合金を高圧容器に内蔵された電気炉の中に入れ、アルゴンガスによるガス圧と高温を同時に加え、加圧再焼結を行う。

ヒートショック予防 LIXIL、体感型ショールームで啓発 (2020/11/25 建設・生活・環境・エネルギー)

昔の家は単層ガラスの窓にアルミニウム製サッシ、今の家はペアガラスの窓にアルミと樹脂の複合サッシ、これからの家はペアガラスの中にアルゴンガスを入れ、アルミと樹脂の複合サッシを使う。

同社は計300億円を投資し、直江津工場(新潟県上越市)で主力のフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストの生産能力を現状比1・3倍、台湾では多層レジスト材料の生産能力を同1・5倍に高める。

山梨県、産業大賞にVISTA (2020/10/30 東日本)

世界的に供給不足が懸念されるヘリウムガスを用いた一般的な気密度試験装置「リークディテクタ」に代わり、安価なアルゴンガスなど別の気体を用いて自動車部品などの気密試験が行える「アルゴンリークディテクタ S...

ニュース拡大鏡/住化、5G関連素材の事業化を加速 (2020/10/26 素材・医療・ヘルスケア)

現在、100層以上の半導体の中でEUV露光はわずか数層で、大半は液浸フッ化アルゴン(ArF)露光という。

VISTA/アルゴンガスでリークチェック VISTA(山梨県富士吉田市、0555・23・0501)は、アルゴンガスや窒素ガス、大気などを用いて、光学式の気密部品のリークチェックが可能...

ヘリウムガス代替で注目 VISTA(山梨県富士吉田市、大迫信治社長、0555・23・0501)が開発したアルゴンガスで気密部品をリークテストできる「アルゴンリークディテクタSLD―1...

信越化、日台でフォトレジスト増産 先端半導体向け (2020/10/16 素材・医療・ヘルスケア)

直江津工場で製造するレジスト製品のうち、主力のフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストの生産能力が現状比1・3倍、台湾では主力製品である多層レジスト材料の生産能力が同1・5倍となる。

またアルゴンガスの吸蔵量が従来品比2倍に増えた。

溶接ロボを6台導入し、溶接用ワイヤは約100種類、アルゴンや炭酸など溶接用ガスも幅広くそろえる。

理研ワールド、炭素メッキ加工受託 小ロットから開始 (2020/9/8 素材・医療・ヘルスケア)

今回の炭素メッキは約500度Cの溶融塩を溶媒に、酸素を遮断したアルゴン雰囲気で加工処理する。

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