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フッ化アルゴン(ArF)の液浸やドライを中心に新品が伸びる。

半導体露光大手、差別化を追求 三者三様の開発戦略 (2022/5/5 電機・電子部品・情報・通信)

3次元化ニーズに対応した、フッ化アルゴン(ArF)液浸スキャナー「NSR―S636E」を23年に発売する予定だ。

i線の半導体露光装置など非先端領域が伸びているが、新たに産業技術総合研究所(産総研)からフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置を受注するなど総じて堅調に推移しそうだ。&#...

アルゴンのイオンビームをガラス状炭素に照射して炭素原子が並んだ平面構造に穴を開ける。1平方センチメートル当たり100兆個から1京個のアルゴンイオンを撃ち込んで欠陥を導入した。

荷重と押し込み深さの関係から計算だけで力学物性を評価するインデンテーション法を用い、試験装置にアルゴンガスを流入して不活性雰囲気で試験する。

ニコンは露光装置のラインアップとして光源にフッ化アルゴン(ArF)液浸、ArFドライ、KrF、i線を使った製品をそろえている。

活況!半導体露光装置(下)ニコン 中古i線装置、販売好調 (2022/3/17 電機・電子部品・情報・通信)

「構造改革後、特定の顧客に対してフッ化アルゴン(ArF)液浸を売ってきたが、現在は新しい顧客にも売り込んでいこうとしている。

活況!半導体露光装置(中)ASMLジャパン、最先端EUVの開発継続 (2022/3/16 電機・電子部品・情報・通信)

ただ、半導体はEUVだけではできず、フッ化アルゴン(ArF)液浸、ArFドライ、フッ化クリプトン(KrF)、i線まで含めた装置が必要になり、引き続きそれらの装置の改善も...

需要が増加するArF(フッ化アルゴン)レジストやEUV(極端紫外線)レジスト向けの新規材料の研究開発を推進し、高品質化の要望に対応する。

特に、光源にフッ化アルゴン(ArF)ドライ、ArF液浸を使用した先端分野の装置が伸びるという。

エア・ウォーターの産業ガス事業は鉄の製造に必要な酸素や半導体の製造に使う窒素のほか、アルゴン、水素、炭酸ガス(二酸化炭素)、ヘリウムなどを手がける。

エコガスはアーク溶接(マグ・ミグ溶接)において溶融金属と空気の接触を断つためのアルゴン(Ar)や二酸化炭素からなるシールドガスの使用量を電気的に自動制御する。

ダイトーケミックス、福井に新工場棟 感光性樹脂増産 (2022/1/24 素材・医療・ヘルスケア)

フッ化アルゴン(ArF)に対応した品目を生産し、同品目の生産能力は福井工場の既存分と合わせて2・5倍となる。

エア・ウォーターのエレクトロニクス向け産業ガス関連事業は、酸素や窒素、アルゴンなどの産業ガスを工場内や近隣に設備を置いて供給するほか、ガス純度を高める精製装置や半導体製造プロセスで排出されるガスの処理...

研究グループは大気の第3成分であるアルゴンの存在を確かめるため、走査型電子顕微鏡(SEM)などを用いた新しい検出手法を開発。... その結果、窒素、酸素、アルゴンの存在を直接観測できた...

研究グループはチタン合金を用いたレーザー照射で、従来のアルゴンガスと比熱容量が異なるガスを用いて流路を最適化させ、造形体の金属組織の強度や硬さといった力学特性が制御できることを突きとめた。

生産能力は酸素が毎時4万8000ノルマル立方メートル、窒素が同8万2000ノルマル立方メートル、液化アルゴンが同1580ノルマル立方メートルで、2023年12月末に稼働を始める予定。 ...

アーク溶接(マグ・ミグ溶接)で、溶融金属と空気の接触を断つ二酸化炭素やアルゴン(Ar)などのシールドガス使用量を電気的に自動制御する。

ダイセルのフッ化アルゴン(ArF)レジスト用ポリマー事業は05年頃に立ち上がり、10年頃からシェアが拡大し始めたという。

特殊アクリル酸エステルの一つとしてArF(フッ化アルゴン)レジスト用モノマーを展開し、引き合いは好調。

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