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ダイキン、韓国に新工場 半導体用エッチングガス生産 (2021/1/22 電機・電子部品・情報・通信)

新工場で生産するエッチングガスは、ドライエッチングと呼ばれる半導体の製造工程で、感光剤(レジスト)などの薄膜を除去して微細な回路を形成するのに用いられる。

対韓輸出規制/日韓、地力の差露見 国産化に疑問符 (2019/7/29 電機・電子部品・情報・通信)

対韓輸出手続きを厳格化したフッ化水素(エッチングガス)など3品目は、韓国経済を支える半導体とディスプレー産業の急所を突いた。

シクロオレフィンポリマーや光学フィルム、リチウムイオン二次電池用バインダーのほか、絶縁材料やエッチングガスなど電子材料を扱う。

配線溝の加工は耐環境性・耐レジスト性硬化性に優れたエッチングガス「CF3I」を使い、反応性イオンエッチング技術を適用。

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