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記事検索結果
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試作機は医療機器の水素吸入に適した小型の超音波ガス濃度計。超音波を用いて水素のほか酸素、窒素など複数種類のガス濃度の計測が可能な独自の仕組みを採用した。... 現在、1分間当たり3リットルのガス流量で...
水素社会への移行期に当たり、ガス流量調整部品とソフトウエアの切り替えで、従来の都市ガスと水素の切り替えができるようにした。
大量の実験データをAIが理解できる形で蓄積する必要があるなど課題はあるが、実現できれば半導体製造装置のレシピ(ガス流量や温度、圧力の最適な組み合わせ)や材料の開発効率を高めることができ...
マスフローコントローラー(MFC)はガスや液体の流量を制御する機器で、半導体製造プロセスでは欠かせない存在だ。... 自動車事業の排ガス計測に使っていた技術を、チャンバー内のガス計測で...
半導体製造のエッチング加工をはじめ、腐食性ガスを使う装置やラインに適する。装置に複数あるチャンバーへのガス供給で圧力変動が生じた時に過敏反応し、瞬間的に流量が乱れる課題を解消でき、生産の安定化を実現す...
【フジキン/ガス流量デジタル制御機器】 フジキン(大阪市北区)は、ガスの流量制御機器「FCS―T1000F=写真」を出展する。設...
13年に開設した同拠点を拡張し、コア技術であるガス流量制御や液体気化技術の高度化、次世代技術の強化を図る。
高温のため内部の状態を詳細に把握することが難しく、ガス流量や電力の調整など生産条件の検討にシミュレーション技術を活用している。
独自のトーチ構造で高速気流を作り出し、TIG(タングステン不活性ガス)溶接よりエネルギー密度の高いアークを実現。... 開発したシステムはコスト抑制のため既存のTIG溶接電源に独自トー...
半導体関連事業で主力の半導体製造装置向けマスフローコントローラー(ガス流量制御機器)で従来品比8倍の超高速応答の新製品を、露光工程向けで高精度なレティクル・マスク異物検査装置の新製品を...
装置の「品質管理用画像解析システム」は、材料のメルトプール(溶融池)放射のリアルタイムモニタリングやレーザー制御、不活化ガス中の酸素濃度やガス流量の管理、解析を行う。 ...
【京都】堀場製作所は6月をめどに、韓国グループ会社の半導体製造装置向けマスフローコントローラー(MFC、ガス流量制御機器)の生産能力を現状比で約2倍に高める。
フジキンは同国で02年にハノイ市、13年にバクニン省に工場を設け、半導体製造装置用精密バルブ・ガス流量制御機器の部品を生産している。
フジキン/流量制御、センサー・圧力2方式 フジキン(大阪市北区、06・6372・7141)は、流量制御機器として、マスフローコントローラーと呼ぶ熱式流量セン...
ガス流量制御機器「マスフローコントローラー(MFC)」の土台になる部品なども20年中に月産数を3300個と従来比6・6倍に増やす。
矢部川電気工業 水素ポンプセルによる水素燃料ガス計測装置 燃料電池自動車(FCV)に供給する水素燃料ガスは、国際規格「ISO14687―2...
【東大阪】フジキン(大阪市北区、野島新也社長、06・6372・7141)は、半導体の製造に必要な有機金属ガスの流量を業界最高水準の精度プラスマイナス3%以下に制御できるバルブを...
流水中の細菌やウイルスに対し360度の大面積に均一照射し、現在毎分1リットルから300リットルまでの小流量から大流量の水処理に対応する。... (仙台市泉区) ...
