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半導体研究向け拡販 【千葉】ユーパテンター(千葉県船橋市、本多祐二社長)は、山口県産業技術センターと、単結晶に近い窒化アルミニウム(AlN)を、ステン...

フルヤ金属は三菱商事RtMジャパン(東京都千代田区)と、粉末スパッタリング法を応用し数ナノメートル(ナノは10億分の1)レベルの粒子に薄膜コーティングする装置を共同開発...

この単結晶基板上にp型硫化スズをスパッタリング法により成膜することで、pnホモ接合の硫化スズ太陽電池を実現した。

TOWA、樹脂にセラ成膜 車部品向け技術開発 (2020/12/2 機械・航空機1)

スパッタリング法での低温成膜で高密着性を実現。

NCC、シリコン成膜で赤・ピンク色着色 若狭湾エネ研と連携 (2020/8/5 建設・生活・環境・エネルギー1)

若狭湾エネ研の基本技術は、スパッタリング法で装置内のシリコンを飛ばし、金属や合成樹脂の材料表面に成膜させる。

一方、成膜技術については、スパッタリング法による成膜条件の最適化を少数の実験で決定する手法を開発することで、研究開発時間を大幅に短縮できた。

研究グループは、半導体素子の作製技術として、スパッタリング法などの薄膜作製手法を利用。

無機ガラスにスパッタリング法を用いて成膜したところ、成膜していないガラスに比べて表面の硬さが約3倍に向上した。

不二越、DLC2方式装置開発 成膜速度1.5倍 (2018/7/31 機械・ロボット・航空機1)

2方式はイオンビームによるスパッタリング法、ガスをプラズマ中に注入するP―CVD(化学気相成長)法。

スパッタリング法や真空蒸着法などの真空成膜プロセスで形成されているが、基板の形状が平面に限定され、立体物の表面、特に筒の内面には成膜できないことがCNT黒体の実製品への応用を阻んできた。 &#...

旭硝子、低放射ガラス生産設備 インドネシアに導入 (2016/11/10 素材・ヘルスケア・環境)

現地子会社のアサヒマス板硝子が運営するチカンペック工場(西ジャワ州)に、スパッタリング法を用いてガラスにLow―E膜を形成するオフラインの加工設備を新設する。

効率向上には真空を活用した成長法が効果的と言われ、スパッタリング法が有望視されているが、効率向上につなげられるかがカギを握る。

ガラスや樹脂などの基板との密着性が高いほか、ITOの生産プロセスと同じスパッタリング法を活用できる。

スパッタロールコータは、プラスチックフィルムにスパッタリング法で酸化インジウムスズ(ITO)などの透明導電膜や光学膜などを形成する装置。

溶液で成膜するゾルゲル法の生産性を従来比で2倍とした。... 現在はスパッタリング法での成膜が大半だが、大口径ウエハーへ均一に成膜するにはゾルゲル法が有力視されている。 ... ゾル...

(0761・44・5411) 【超精密金型向け耐摩耗被覆提案】 和興産業宇部工場(山口県宇部市)は、物理気相成長(PVD&#...

高価なサファイア基板などを使用する従来のLEDの製造法に比べ、100分の1程度の低コスト化が見込める。... 窒化物半導体は有機金属化学気相成長(MOCVD)を使わず、生産性の高いスパ...

筑波大学の新関智彦助教(現東北大学)、柳原英人准教授、喜多英治教授らのグループは、量産に適した成膜手法であるスパッタリング法を使って、良質なコバルトフェライト単結晶薄膜を作ることに世界...

QCM法自体は古くから金属薄膜など蒸着物の膜厚を計るモニターに使われている手法であるが、さまざまな検出材料を用いて検証試験を繰り返し行った結果、QCM法が活性酸素のモニタリングに有効であることを見いだ...

藤野達士明石工業高等専門学校教授が「真空技術の基礎」、福住正文兵庫県立工業センター主任研究員が「スパッタリング法による成膜技術と応用」を講演する。

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