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「匠」に装着したシミュレーターでは、チャンバー内で1200度Cの温度と、毎秒百ミリメートルの圧縮変形を実施することができる。

「これまでロジックや半導体受託製造(ファウンドリー)で多く採用いただいていたが、チャンバー数を増やして生産性を高めた新製品を24年半ばに市場投入する予定だ。

自動車事業の排ガス計測に使っていた技術を、チャンバー内のガス計測で活用している例もある。

工作機械の電気・精密受注、8月50億円超 5カ月ぶり大台 (2023/10/5 機械・ロボット・航空機2)

最大直径1070ミリ×同高さ1000ミリメートルの加工対象物(ワーク)を加工でき、電気自動車(EV)の電池ケースなどともに、半導体製造装置のチャンバーハウジン...

このため宇宙航空研究開発機構(JAXA)は、真空状態でクリーンな環境を維持できるチャンバーなど、キュレーション作業に必要な機器の導入を計画。

堀場、半導体製造歩留まり改善 微細化対応で新製品 (2022/12/13 機械・ロボット・航空機1)

チャンバー内のガス成分を監視する四重極形質量分析計と、チャンバー内でウエハーの温度制御に用いるガスの圧力制御を行うシステムを投入。

チャンバー数によるが、同装置1台当たりの流量制御バルブ搭載数は約200―300台。

SCREENHD、枚葉式洗浄装置を発売 最大毎時1200枚処理可能で省スペース (2022/12/8 電機・電子部品・情報・通信1)

新製品は洗浄処理チャンバーを小型化し、1タワーに搭載可能なチャンバー数を4段から6段にした。

亜鉛用ホットチャンバーダイカストマシンの新型機「CX25Servo」は型締め力が25トン。

魁半導体、プラズマCVD新技術 成膜効率・安全性を向上 (2022/9/20 電機・電子部品・情報・通信)

チャンバー減圧時の圧力コントロールと、有機金属系液体原料に揮発性の低い液体を配合する成膜原料溶液で気化速度を制御し、装置内で完結。気化原料は同じチャンバー内でプラズマ化し、プラズマ処理する化学反応で基...

半導体製造装置でもチャンバーなどで金属を多く用いる。

リケンは、電気自動車(EV)やハイブリッド車(HV)に搭載されるモーターやインバーターの電磁環境適合性(EMC)を評価する電波暗室「...

開発したバルブは、電子デバイスが組み込まれたチャンバーに力を伝えるおもりとオジギソウを、ワイヤと滑車でつなげて動きを伝える仕組み。枝が下がるとおもりが持ち上がってふさがっていたチャンバー内の流路が開い...

そのため装置自体をチャンバー構造とし、造形部に低酸素状態を作る方式が主流だが、空気の排気に時間を要し、チャンバーの費用・スペースも負担になるという課題がある。

海洋分野の知識・経験生きる リュウグウ専用の試料分析室には、試料を地球上の空気に触れさせずに分析できるチャンバーがある。届けられた試料は宇宙空間と同じ環境の真空チャンバーに...

むき出しだったチャンバーなどの装置も筐体(きょうたい)内に収納し、そのまま貨物として船や航空機に積めるように設計。

エッチング装置は、装置内の化学反応室「チャンバー」で、ガラス基板上に成膜された各種薄膜を削り取る。

VACUUM2021真空展/紙上プレビュー(5) (2021/11/30 機械・ロボット・航空機1)

昭和螺旋管製作所/少量多品種から量産品まで対応 昭和螺旋管製作所(東京都板橋区)は、半導体業界向けに真空配管用のフレキシブルホ...

野外の気温より3度C加温したチャンバー内で育てたキンモクセイは、開花時期が遅れたり回数が増えたりする現象がみられた。

北川工業、EVチャンバー導入 高電圧電源製品の電波影響を検査 (2021/5/28 電機・電子部品・情報・通信)

EVチャンバーは、モーターを実駆動した状態でEMC試験と評価を行う設備。... EVチャンバーの能力は、最高回転数が毎分1万2000回転。

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