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VACUUM2023真空展/半導体製造の課題解決 (2023/11/30 機械・ロボット・航空機2)

【アルバック、ガスモニターを小型で保守しやすく/荏原、真空ポンプ集中監視システム】 真空機器・真空装置の総合展示会「VACUUM2023真空展」が29日、東京・有明の東京ビ...

VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(3) (2023/10/31 機械・ロボット・航空機1)

【エドワーズ/ドライ真空ポンプ小型軽量化】 エドワーズ(千葉県八千代市)は、「mXDS3ミニスクロールポンプ=写真」を展示する。

VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(1) (2023/10/25 機械・ロボット・航空機1)

【荏原/小型空冷式ドライ真空ポンプ】 荏原は小型の空冷式ドライ真空ポンプ「EV―SA型=写真」を出展する。... 排気系全体を遠隔監視し、ドライ...

図面データ活用時代の曙(4)図面は資産に (2023/9/8 機械・ロボット・航空機)

ドライ真空ポンプメーカーの樫山工業(長野県佐久市)では調達部署で原価低減への活用が始まった。

経営ひと言/荏原・戸川哲二執行役「域産域消カギ」 (2023/7/31 機械・ロボット・航空機2)

統括する半導体関連のセグメントでは、ドライ真空ポンプの保守需要が旺盛だ。

半導体市場の拡大により、製造工程に真空環境を提供するドライ真空ポンプの保守需要が伸長している。... そうなるとポンプの動きが止まってしまう。... オーバーホールではポンプを分解して固形物を取り、洗...

荏原は今秋までをめどに、韓国で半導体製造に使うドライ真空ポンプ(写真)のオーバーホール工場を稼働する。... ドライ真空ポンプは半導体製造工程に真空環境を提供する装...

化学機械研磨(CMP)装置、ドライ真空ポンプなど半導体関連が需要拡大を追い風に好調で、全体をけん引。カスタムポンプやコンプレッサー・タービンの収益改善も寄与した。 ....

同工場は主に半導体や液晶パネルの製造工程に必要なドライ真空ポンプを製造している。... 増築によりドライ真空ポンプの生産能力は約2倍になる。... 同工場ではドライ真空ポンプのほか、同ポンプと樫山工業...

荏原は台湾に半導体製造装置のドライ真空ポンプの第2工場を建設する。... 荏原は精密・電子事業でドライ真空ポンプやCMP装置などの半導体製造装置を手がける。ドライ真空ポンプは半導体...

荏原、オーバーホール工場新設 福島で24年竣工 (2022/12/23 機械・ロボット・航空機)

荏原は半導体製造に使われるドライ真空ポンプのオーバーホール工場を福島県伊達市に新設する(完成イメージ)。... ドライ真空ポンプのオーバーホール工場は5カ所目で、東...

Japan Robot Week2022/歩き・話し・遠隔から… “人を手助け”... (2022/10/20 機械・ロボット・航空機1)

同時開催で、真空機器・装置の総合展示会「VACUUM2022真空展」では、半導体製造分野向けを中心とした意欲的な出展が目立つ。... 【VACUUM2022真空展】半導体支える真空ポンプ &#...

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(3) (2022/10/5 機械・ロボット・航空機2)

電子ビームボンバード間接加熱法を利用した真空蒸着源「BS―60610BDS=写真」は低ダメージ、低欠陥、低吸収、厚膜、ハイレートの成膜に適している。... 【荏原/小型軽量のドライ真...

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(2) (2022/10/4 機械・ロボット・航空機2)

【アルバック/真空装置プロセス管理】 アルバックは「ピラニ真空計SW100」を出展する。... 【神港精機/ハードプロセスでも安定運...

インタビュー/荏原社長・浅見正男氏 中期計画、前倒し達成 (2022/4/7 機械・ロボット・航空機2)

ポンプなどの風水力事業の利益率改善と、半導体製造装置の精密・電子事業の好調が大きい。... ドライ真空ポンプの工場(神奈川県藤沢市)では新棟を21年夏にフル稼働させた。... 「成長事...

藤沢事業所は半導体関連のドライ真空ポンプの生産拠点。

ポンプ大手2社が産業用ポンプ事業以外の分野で業績を伸ばしている。... このため4月にドライ真空ポンプのラインを増設。... クボタは水道管製造からスタートしてポンプを展開し、現在は農業機械が主力事業...

荏原、中国・安徽省に工場 (2021/7/19 機械・ロボット・航空機2)

荏原は中国・安徽省で半導体製造向けドライ真空ポンプのオーバーホールを手がける工場(写真)を完成した。

19年にドライ真空ポンプの開発棟と生産棟を藤沢事業所内に建設。

VACUUM2020真空展 ONLINE/注目の製品・サービス(6) (2020/10/28 機械・航空機1)

荏原/長寿命空冷式ドライ真空ポンプ 荏原は空冷式ドライ真空ポンプ「EV―PA型=写真」を展示する。... 異物混入を防ぐシールにポンプとの非接触式を採用し、摩耗を抑...

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