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酸化ガリウム単結晶基板の製造・加工用設備、検査設備のほか、ウエハー上に酸化ガリウムをエピタキシャル成長させる成膜装置を追加導入する。... 融液法でバルク単結晶を育成し、効率的に結晶基板を製造できるこ...

昭和電工、産総研と次世代SiCウエハー技術で協力 (2022/5/30 素材・医療・ヘルスケア)

昭和電工は産業技術総合研究所(産総研)と協力し、炭化ケイ素(SiC)バルク単結晶の高速成長技術開発に取り組む。

【バルク単結晶】 島村清史グループリーダーが率いる光学単結晶グループは、新しい大型の単結晶(バルク単結晶)材料を次々と生み出し、その応用研究に取り組んでいる。 ...

研究グループは圧電性を持ちながら、酸素と強く結合する元素だけで構成する結晶を探したところ、ゲーレナイトを見い出した。ゲーレナイトはバルク単結晶化できることも確認しており、融点の1600度Cまで圧電性を...

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