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昭和電工、除害装置向け性能評価サービス 有害ガスなど (2019/4/24 素材・医療・ヘルスケア)

対象は、半導体や液晶パネルの製造工程で使用されるパーフルオロ化合物(PFCs)などの多様な温室効果ガスや有害ガスを除害する装置。

免震工房の「三次元対応型免震台」とセルシア技研のPFC(パーフルオロ化合物)処理装置の電気制御設計製作を実現性の高い事業とした。

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