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回路の微細化ニーズに対応して事業を拡大し、半導体材料を偏光板フィルムに次ぐ情報電子化学部門の柱に育てる。 大阪工場では、高機能な半導体の主要な製造プロセスとなっているフッ化アルゴン(...

フッ化アルゴン(ArF)用や極端紫外線(EUV)用のレジスト材料を、半導体レジストメーカー向けに供給する。同社が世界トップシェアを誇るArF用材料の供給能力を、従来比1・5倍に高める。 ...

フッ化アルゴン(ArF)光源に比べ量産中の半導体への影響は小さいが、最も高価な微細品を対象とした意味でインパクトはある。 ... 半導体用フッ化水素酸などを主力とする森田化学工業(大...

化学各社、EUV向け素材の供給体制整備 (2019/6/27 素材・医療・ヘルスケア)

今EUV技術に期待が集まるのは、超高速通信の第5世代通信(5G)の実用化に伴い、半導体の微細化ニーズは一層高まるからだ。EUVは研究開発に長い期間を要し、この間、液浸フッ化アルゴン(ArF)露光技術の...

先端材料に加え、フッ化アルゴン(ArF)やフッ化クリプトン(KrF)フォトレジスト、3次元(3D)NAND型フラッシュメモリー向け製品など汎用品も期待できる。... 国内の高齢化対策には作業の自動化や...

回路の微細化や多層化で、日本勢の強みである高品質材料のニーズが拡大している。 ... フッ化アルゴン(ArF)液浸と厚膜フッ化クリプトン(KrF)、i線向けの生産...

特に高機能・低コスト化の要求が強い、最先端半導体で使うフッ化アルゴン(ArF)用レジストは、同工場のみが手がける戦略製品だ。 ArF用レジストの主な需要地は日本ではない。... ただ...

「フッ化アルゴン(ArF)に取って代われるのはまだ先」と見通すのは、JSR上席執行役員の杉本健さん。... ArF露光装置の年産200台と比べると需要差は大きそうだが「当面は並行して使われるだろう」と...

まずは従来のフッ化アルゴン(ArF)露光装置では難しい、最先端の中でも限られた領域に訴求していく」 ―米インプリアへの出資で、EUV向け金属含有レジストの開発も進みそうです。 ...

半導体材料は微細化に向けた品質要求が高度化。... 半導体プロセス微細化、高品質追求 日産化学工業は22年をめどに、回路形成に使う反射防止コーティング材の生産能力を引き上げる。......

富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズの静岡工場(静岡県吉田町)に、フッ化アルゴン(ArF)用レジストの調合タンクやフィルターを含む充填設備を新設する。... 富士フイルムが増産するArF用は、微細...

半導体の微細化とともに、半導体フォトレジストの市場拡大が見込まれている。... 現在量産レベル最先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置は波長193ナノメートル(ナノは10億分の1)のレーザー光を発...

事業をスリム化し、最先端の液浸タイプのフッ化アルゴン(ArF)露光装置開発を大幅に縮小する。 現状、ニコンは先端技術では蘭ASMLに完敗し、フッ化クリプトン(KrF)など旧式装置では...

「ニーズが多様化して、最大公約数を掴(つか)むのが難しくなっている。... 微細加工技術の領域で新たな事業の軸を作りたい」 【記者の目/ナノインプリントに焦点】 早...

ここ数年はスマートフォンの大画面・薄型化や高精細カメラの搭載といった波に乗り、主力のフォトレジストやCMPスラリー(研磨材)は年率20―30%で伸長。... フッ化アルゴン(ArF)液浸装置に向けたフ...

ニコン、国内1000人削減へ 半導体製造装置不振で構造改革 (2016/11/9 電機・電子部品・情報・通信1)

半導体製造装置事業では最大手の蘭ASMLへの対抗は難しいと判断し、最先端の液浸タイプのフッ化アルゴン(ArF)露光装置開発を大幅に縮小する。配置転換を含め同事業で1000人規模の適正化を実施。18年3...

先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸装置の開発につまずき苦戦してきたが、ここに来て同社が得意とするi線(波長365ナノメートル〈ナノは10億分の1〉)、フッ化クリプトン(KrF)の両装置の需要が伸びてい...

モノのインターネット(IoT)の普及を背景に同社が手がける光源がi線、フッ化クリプトン(KrF)の両装置需要は堅調とみて約5年ぶりの大型投資に踏み切る。... キヤノンは先端のフッ化アルゴン(ArF)...

キヤノン、半導体露光装置事業に転機−ナノインプリントで逆襲 (2016/3/18 電機・電子部品・情報・通信1)

キヤノンは先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置の開発につまずき、オランダのASML、ニコンとの競争にさえ加われない状況が続いた。... 装置価格が割安なことに加え、転写精度が高く半導体の性能を左...

既存のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置で2回必要になる処理が1回で済む。装置価格もArF液浸よりも大幅に安いため、東芝は製造コストを大幅に低減できるとみる。 ... また転写精度...

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