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【高知】高知工科大学大学院の山本哲也教授らと住友重機械工業の技術研究所は、成膜プロセスで酸素負イオンを用いて酸化物半導体を安定させた上で、同一装置内で特性を変え、機能を付加できる技術を開発した。......
【高知】高知工科大学総合研究所マテリアルデザインセンターと住友重機械工業技術研究所は、成膜プロセスと連続して材料や成膜した薄膜を低温・高速に酸化する技術を開発した。プラズマ薄膜成膜装置内で酸素負イオン...