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幸和、有機ELパネルの歩留まり改善 ホットプレート一体の真空熱処理装置 （2020/8/19 機械・航空機１）
加熱はプロキシミティ方式で常用使用温度は200度C、最高使用温度は250度C。... クリーン対策はHPシールおよびHP排気方式。 ...
キヤノン、第10世代向けTFT用露光装置を開発 （2008/4/16）
キヤノンが採用する露光方法は凹面ミラーを用いた一括露光方式で、マザーガラスが第6、第7、第8世代と大型化するにつれて凹面ミラーも直径1500ミリメートル以上に大型化。... ニコンが採用する露光方法は...
日本精工、TFT用液晶露光装置に参入−来年アジアに工場 （2008/4/7）
事業化に乗り出すTFT用の露光装置は、基板とマスクを近づけてわずかなすき間で露光する「プロキシミティー」方式を採用する。ニコンやキヤノンの投影レンズを用いた方式と比べると、製造コストを大幅に下げられる...
