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【電子版】東京エレクトロン、高精細FPD向けドライエッチング装置投入 （2017/12/9）
薄膜を加工する「プロセスチャンバー」を、従来機種に比べて2基多い5基まで搭載できる。 プロセスチャンバーは、パネル基板上に高密度のプラズマを均一に生成する。搭載できるプロセ...
経営ひと言/東京エレクトロン宮城・北山博文社長「累計出荷5000台」 （2016/7/13 機械・航空機２）
半導体製造向けのエッチング装置のプロセスチャンバーが累計出荷5000台に達した。 ... 生産プロセスの複雑化により、半導体製造装置の中でも「圧倒的に市場が伸びる」と予想する。...
東京エレクトロン宮城、チャンバー5000台出荷で記念式典 （2016/6/16 電機・電子部品・情報・通信１）
東京エレクトロン宮城(宮城県大和町、伊藤博道社長、022・346・3000)は、半導体生産に使うエッチング装置向けプロセスチャンバーを累計5000台出荷し、このほど記念式典を開いた&#...
