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【京都】堀場エステック(京都市南区、堀場弾社長)は、半導体製造装置向けマスフローコントローラー(MFC)の新製品2機種を発売した。
170億円投資 【京都】堀場製作所は12日、京都府福知山市に半導体製造装置向けのマスフローコントローラー(MFC)や薬液濃度モニターなどを生産する...
マスフローコントローラー(MFC)はガスや液体の流量を制御する機器で、半導体製造プロセスでは欠かせない存在だ。
バルブ開度に独自アルゴリズム 【京都】コフロック(京都府京田辺市、小島望社長)は半導体製造向けに、従来より安定した流量制御が行える新型マスフローコントローラー(...
製造装置向けマスフローコントローラーの生産能力は国内で18年度比約7割増の年60万台に高めた。... マスフローのような強い製品だけでなく、セグメントの枠を超えたトータルソリューションを提案する形が浸...
製品化するガス腐食試験機は、試験槽(幅3×奥行き2×高さ1メートル)、マスフローコントローラーによる試験ガス供給装置などで構成。
コフロックは精密バルブやマスフローコントローラーなどの流体制御機器メーカー。現在、高速応答の小型圧力センサーや温度センサー、イーサキャット通信機能搭載コントローラーなども開発中で、新流体制御システム「...
現在、石山工作所では、半導体製造装置部品(流量計マスフローコントローラー)、調圧・高圧バルブ、船舶関係部品などを手がける。
22年1―6月期の同セグメントは、マスフローコントローラーや薬液濃度モニターなどの販売が大幅に伸長。
同社の中国でのノックダウンは19年開始の一般産業機器向けマスフローコントローラー(流量制御機器)に次いで2製品目。
【京都】堀場製作所は16日、中国・北京市の拠点でマスフローコントローラー(流量制御機器)を増産し、2025年までに同拠点の生産能力を現状比約3倍の年10万...
半導体関連事業で主力の半導体製造装置向けマスフローコントローラー(ガス流量制御機器)で従来品比8倍の超高速応答の新製品を、露光工程向けで高精度なレティクル・マスク異物検査装置の新製品を...
「半導体製造装置向けマスフローコントローラーを中心に活況な受注に対し、生産が追い付かない状況。
デジタルマスフローコントローラーはセンサーとバルブを内蔵した機器で、気体の流量を制御する。... これらの現場では気体流量の調整を手動のニードルバルブから、マスフローコントローラーによる自動制御へ移行...
