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フォトマスク専業メーカーとしては5ナノメートル世代で初めての製造技術で量産体制を整えた。... マルチ電子ビームマスク描画装置の特性を生かし、新たな感光材料を含むプロセスを独自設計し、EUVマスクの微...

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