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三菱ケミカル、半導体関連素材増産 台湾で高純度硫酸5割 （2020/6/12 素材・医療・ヘルスケア）
22年には台湾で、半導体ウエハー加工工程に使われる洗浄剤の一種を約5割増産する。... 同製品は、半導体ウエハー材料であるシリコンインゴットの製造装置に使われる。... 半導体製造工程では複数の洗浄剤...
