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東北大、透過周波数を調整できるメタマテリアルフィルター開発（2024/2/20 科学技術・大学）

成熟した半導体加工技術で製造できるため量産しやすい。

第66回十大新製品賞/本賞レーザーテック（2024/2/9 機械・ロボット・航空機）

EUV露光は回路線幅7ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の微細プロセスに対応する最先端の半導体加工技術。... 開発を率いた宮井博基技術五部長は「クリーンルーム内の半導体生産で装置...

2023年第66回十大新製品賞（2024/1/4 十大新製品賞）

本賞レーザーテック/高輝度EUVプラズマ光源「URASHIMA」マスク欠陥を高感度で検出レ...

レーザーテック、高輝度EUVで欠陥検出マスク検査装置を受注（2023/12/12 電機・電子部品・情報・通信１）

従来機種に比べ検出性能を高め、次世代半導体の微細化プロセスと高開口数(NA)EUV露光に対応する。... EUV露光は回路線幅7ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の...

天田財団、今年度前期の助成テーマ90件(5) （2022/10/10 機械・ロボット・航空機）

【研究開発助成/一般研究開発助成(レーザプロセッシング)】▽片平和俊/理化学研究所開拓研究本部大森素形材工学研究室「プラズマ援用フェムト秒レーザ改質システムの開発と...

物材機構など、IoT機器向け熱電素子開発 12mm角で0.5ボルト超出力（2022/6/30 大学・産学連携）

物質・材料研究開発機構の大久保勇男主幹研究員らは産業技術総合研究所、筑波大学と共同で、IoT(モノのインターネット)機器などの自立駆動のための微小な熱電素子を開発した。熱電変換物質の薄...

ファイルいい話/レーザーテック半導体マスク欠陥検査装置（2020/7/16 電機・電子部品・情報・通信２）

2019年には最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光用マスクパターンの欠陥検査装置(写真)を開発。... 技術本部長の楠瀬治彦副社長は「我々の取り組みと貢...

第62回十大新製品賞/日本力賞レーザーテック（2020/2/20 電機・電子部品・情報・通信１）

レーザーテックは最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光用マスクパターンの欠陥を高感度に検出するEUV欠陥検査装置ACTIS「A150」を製品化した。 E...

2019年第62回十大新製品賞（2020/1/6 十大新製品賞）

同技術と、同社独自のデジタルイオントラップ技術を組み合わせて超小型化を実現した。... 【レーザーテック/アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置 ACTIS「A150」】&#...

EUVでパターン欠陥検出レーザーテック、マスク検査装置を製品化（2019/10/16 電機・電子部品・情報・通信２）

【横浜】レーザーテックは、半導体加工技術の極端紫外線(EUV)露光用マスクパターンの欠陥を高い感度で検出するEUV欠陥検査装置「ACTIS A150=写真」を製品化した...

化学各社、EUV向け素材の供給体制整備（2019/6/27 素材・医療・ヘルスケア）

化学各社は最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光工程向け素材の供給体制を整備する。... 今EUV技術に期待が集まるのは、超高速通信の第5世代通信&#...

三菱化学、NY州立大学と連携―CMP後洗浄剤を開発（2015/4/28）

三菱化学は27日、米国のニューヨーク州立大学と、次世代半導体加工技術である化学的機械研磨(CMP)用洗浄剤に関する評価委託契約を結んだと正式発表した。... CMPは半導体基板表面の凸...

三井住友銀、VB支援を拡大−3Dプリンターも対象（2014/6/26）

三井住友銀行はベンチャー企業への資金供給で、事業や技術を評価して融資につなげる「成長性評価融資」により、支援する産業分野を新素材や3Dプリンターなどの次世代モノづくり技術に広げる。... 政府の成長戦...

東大、究極の微小レーザーの実現に成功−光通信などに応用（2010/2/16）

東京大学の荒川泰彦生産技術研究所教授らは15日、光の閉じ込め限界である波長サイズ程度のナノ共振器中に、人工原子である半導体量子ドットが1個埋め込まれた単一人工原子レーザーの実現に世界で初めて成功したと...

神戸大学と奈良先端科学技術大学院大学のグループは、カーボンナノチューブ(CNT)を微小電気機械システム(MEMS)デバイス上に成長させる新技術を開発した。... CNT...

ロームと産総研、CIGS薄膜を利用したイメージセンサー開発（2008/4/17）

【京都】ロームと産業技術総合研究所(産総研)は16日、CIGS(銅―インジウム―ガリウム―セレン)薄膜を用いた高感度イメージセンサー(写真)を開発したと...