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ファイルいい話/レーザーテック 半導体マスク欠陥検査装置 (2020/7/16 電機・電子部品・情報・通信2)

2019年には最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光用マスクパターンの欠陥検査装置(写真)を開発。... 技術本部長の楠瀬治彦副社長は「我々の取り組みと貢献を評価してもらい大変うれしい。...

第62回十大新製品賞/日本力賞 レーザーテック (2020/2/20 電機・電子部品・情報・通信1)

レーザーテックは最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光用マスクパターンの欠陥を高感度に検出するEUV欠陥検査装置ACTIS「A150」を製品化した。 EUV露光は201...

2019年 第62回十大新製品賞 (2020/1/6 十大新製品賞)

同技術と、同社独自のデジタルイオントラップ技術を組み合わせて超小型化を実現した。... 【レーザーテック/アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置 ACTIS「A150」】 最...

【横浜】レーザーテックは、半導体加工技術の極端紫外線(EUV)露光用マスクパターンの欠陥を高い感度で検出するEUV欠陥検査装置「ACTIS A150=写真」を製品化した。... EUV露光による半導体...

化学各社、EUV向け素材の供給体制整備 (2019/6/27 素材・医療・ヘルスケア)

化学各社は最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光工程向け素材の供給体制を整備する。... 今EUV技術に期待が集まるのは、超高速通信の第5世代通信(5G)の実用化に伴...

三菱化学は27日、米国のニューヨーク州立大学と、次世代半導体加工技術である化学的機械研磨(CMP)用洗浄剤に関する評価委託契約を結んだと正式発表した。... CMPは半導体基板表面の凸凹を平たん化する...

三井住友銀行はベンチャー企業への資金供給で、事業や技術を評価して融資につなげる「成長性評価融資」により、支援する産業分野を新素材や3Dプリンターなどの次世代モノづくり技術に広げる。... 政府の成長戦...

東京大学の荒川泰彦生産技術研究所教授らは15日、光の閉じ込め限界である波長サイズ程度のナノ共振器中に、人工原子である半導体量子ドットが1個埋め込まれた単一人工原子レーザーの実現に世界で初めて成功したと...

神戸大学と奈良先端科学技術大学院大学のグループは、カーボンナノチューブ(CNT)を微小電気機械システム(MEMS)デバイス上に成長させる新技術を開発した。... CNTは既存の半導体加工技術で形成した...

【京都】ロームと産業技術総合研究所(産総研)は16日、CIGS(銅―インジウム―ガリウム―セレン)薄膜を用いた高感度イメージセンサー(写真)を開発したと発表した。... ロームの半導体加工技術、産総研...

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