1ケタナノメートル台の半導体を製造するのに欠かせない極端紫外線(EUV)のマスク用防護カバー製造装置やEUV用に設計された塗布・現像装置などが対象になる。EUVの1世代前「ArF液浸」...

南陽はコーター・デベロッパー(塗布現像装置)などの半導体製造装置を製造販売するエイ・エス・エイ・ピイ(さいたま市西区)の発行済み株式の全数を取得し、子会社化した。エイ・...

同日会見した河合利樹社長兼最高経営責任者(CEO)はデジタル化の進展や半導体の性能向上などを背景に製造装置市場は成長が続くとした上で「付加価値の高い次世代装置を投入することで市場シェア...

主に、塗布現像装置「コータ・デベロッパ」、洗浄装置「サーフェスプレパレーション」などの半導体製造装置の開発を手がける。

半導体製造装置増産に対応する。 ... 半導体製造装置関連の製造の約7割は東京エレクトロン向け。新工場は「300ミリメートルウエハー対応塗布現像装置コー...

「(顧客に納入した装置の)故障予知技術が進展してきた。... 「これまで(装置を利用する工程として)まずは装置内に必要なセンサーを設置して装置の状態を『可視化』し、デー...

東京エレクトロンは、同装置に一体化する塗布現像装置を導入する。... 露光装置と塗布現像装置の一体化は、顧客の省スペース化、高生産性の実現に向け、以前から進められてきた。... 次世代露光装置に対応し...

「製造装置」活況続く 半導体の需要拡大を受け、半導体製造装置市場は活況が続いている。... 最も重要な露光装置は蘭ASMLが市場を独占するものの、検査や感光剤(レジスト...

最も重要な露光装置は蘭ASMLが市場を独占するものの、検査や感光剤の塗布・現像など周辺装置分野では日本勢が高いシェアを持つ。... 東京エレクトロンは、EUV向けコータ・デベロッパ(塗布現像装...

半導体製造装置市場が活況を呈している。... 今後デジタル変革(DX)が進めば、テレメトリックスの幅はより広がっていくだろう」 ―岩手県、山梨県の新棟で、エッチング装...

この機に改善を進め、想定する20年の装置需要回復に備える。半導体ウエハー洗浄装置と、塗布現像装置(コーター・デベロッパー)を中心にリードタイムを短縮する。... 新手法では設計を工夫し...

【京都】SCREENホールディングスは、液晶製造装置事業の製品ラインアップ拡充を狙い、真空成膜装置メーカーの韓国ユニバックと販売契約を結んだ。 車載用カメラレンズや、車載モニター、ス...

半導体製造装置を手がける同社の事業会社が、塗布現像装置と枚様式洗浄装置を提供する。これらの装置は2019年夏に稼働する予定の、同大敷地に設ける試作ラインに組み込まれる。 ... 同社...

【京都】SCREENホールディングスは15日、第6世代基板に対応した有機エレクトロ・ルミネッセンス(EL)パネル製造用の塗布現像装置2機種を発売したと発表した。

東京エレクトロンは塗布・現像装置では8割超の市場シェアを握るが、洗浄装置では10%台半ばと見られている。... FSIは、ウエハーを一枚ずつ処理する枚葉式の洗浄装置を手がける。... スイスの...

製造に必要な装置は価格が数億円になる製品も多く、営業担当者への要求も高い。こうした中、東京エレクトロンの古里直也氏は顧客の心を離さず、同氏が扱う塗布・現像装置は8割以上の市場シェアを握る。 &...

同社はレジスト塗布現像装置など8割以上のシェアを握る製品も多い。エッチング装置全体のシェアは3割程度。事業拡大の余地も大きく、エッチング装置事業の拡大が課題だった。

半導体洗浄装置の世界シェア首位、大日本スクリーン製造の業績回復が鮮明だ。... 子会社のSOKUDO(京都市下京区)が手がける半導体製造用のコーター・デベロッパー(塗布現像装置...

2位の東京エレクトロンは会場近くで技術説明会を開き、次世代露光技術であるEUV(極紫外線)向けの塗布現像装置などの開発状況を明らかにした。... 【洗浄装置】 洗浄装...

【京都】大日本スクリーン製造は、第10世代(10G)以降のフラットパネルディスプレー(FPD)の製造を見据えた塗布現像装置(コーター・デベロッパー)向け...