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カーリットHD、超高平坦ウエハー増産 0.1マイクロメートル技術を確立 (2024/3/13 素材・建設・環境・エネルギー2)

高平坦ウエハーは子会社のシリコンテクノロジー(長野県佐久市)が、主に微小電気機械システム(MEMS)向けに酸化膜上にシリコン単結晶層を形成した「SOIウエハー」の基材用...

産業技術総合研究所の竹井裕介研究チーム長と東北大学の昆陽雅司准教授、筑波大学の蜂須拓助教らは、Adansons(仙台市青葉区)と共同で薄型微小電気機械システム...

微小電気機械システム(MEMS)は、シリコンなどの基板上に、電子回路や機械的に動くアクチュエーター(可動部分)などを作り込んだ部品である。... このような電気機械シス...

英国製酪農機械の輸入を始めた。... 研究開発用に配線を施したり、エッチングで微小電気機械システム(MEMS)のベースをつくったりするニーズもある。... さらに各分野の課題解決を担う...

Mipox、高精度アライメントシステム利用の常温接合加工サービス (2024/2/7 素材・建設・環境・エネルギー1)

【宇都宮】Mipoxはボンドテック(京都市南区)の高精度アライメント(位置決め)システム「マジックビジョン」を用いた常温接合加工サービスを始めた。プラスマイナス0・2マ...

高温下や、原子力発電の炉心近傍といった放射線の高い被ばく環境下などの極限環境で使えるため、微小電気機械システム(MEMS)センサーの実現などに向けたCMOS回路への応用が期待されている...

アズビル、米国孫会社を譲渡 渦流計供給は維持 (2024/1/25 機械・ロボット・航空機2)

アズビルは今回の譲渡により、微小電気機械システム(MEMS)センサーやプラントの自律制御などの先進的なオートメーション領域に経営資源を一層集中させ、国内外の競争力強化や企業価値向上を目...

熱を使わない機械制御によってインクを吐出する点が特徴。... 半導体事業で培った微小電気機械システム(MEMS)技術でシリコンウエハーを加工し、プリントチップを製造する。 &#...

村田製作所、“共創”を加速 異分野と電子部品新用途 (2023/12/19 電機・電子部品・情報・通信2)

試作では村田製の微小電気機械システム(MEMS)慣性センサーを搭載した、ドローンの機体制御に使うコントローラーを活用。

電気めっき工 スズキハイテック 三沢孝夫氏 考える面白さ、原動力に スズキハイテック(山形市)の三沢孝...

微小電気機械システム(MEMS)式触覚センサーで剪断力や圧力を測る。... インソールにMEMS式触覚センサーを三つ配置して、靴の表に取り付けた送信機で信号を解析用パソコンに送る。

浜松ホトニクス/UVに高い感度、低価格ミニ分光器 (2023/11/20 新製品フラッシュ2)

浜松ホトニクスは、微小電気機械システム(MEMS)や光半導体などの独自技術を応用し、紫外光(UV)に高い感度を持つ小型で低価格の分光器「ミニ分光器マ...

サムコ、エッチング装置の新開発棟建設 10億円投資、量産対応 (2023/11/17 電機・電子部品・情報・通信)

研究開発の中核拠点とし、炭化ケイ素(SiC)パワー半導体をはじめとした化合物半導体や微小電気機械システム(MEMS)などの電子部品の量産に適した装置を開発する。 ...

複数波長を同時測定 浜松ホトニクスがUVミニ分光器投入 (2023/11/8 機械・ロボット・航空機2)

【浜松】浜松ホトニクスは微小電気機械システム(MEMS)や光半導体などの独自技術を応用し、紫外光(UV)に高い感度を持つ小型で低価格の分光器「ミニ分...

開発主導型に転換する中で、電気自動車(EV)や微小電気機械システム(MEMS)関連など新規事業の立ち上げが続いている。

まずはチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を使った微小電気機械システム(MEMS)デバイスを想定する。... 炭化ケイ素(SiC)やGaNなどの化合物半導体を...

東芝、超小型熱伝導型センサー開発 混合ガスの濃度を即時測定 (2023/7/19 電機・電子部品・情報・通信)

(編集委員・小川淳) 東芝の独自の微小電気機械システム(MEMS)技術を応用し、超小型チップ上に新型の熱伝導型のガスセンサーを一括して形成した。

青色レーザー光を微小電気機械システム(MEMS)ミラーで反射し、ミラーの角度を高速で上下左右に動かすことで、レーザー光線を面の光にする。... 三菱電機のドライバーモニタリングシステム...

指が最も変形する指の腹部側面にセンサーを配置することで、触覚を推定する際のシステムの感度が最も良くなることを示した。... 池田准教授らは指の腹部側面の変形を微小電気機械システム(MEMS&#...

メッキによる金属膜は高い伝導性や膜圧の均一性を確保でき、電気特性の向上も期待できる。 ... タカノは今後、共同開発した技術を用いて微小電気機械システム(MEMS)関...

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