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基盤モデルと研究自動化(4)実験にロボ技術 (2024/4/1 科学技術・大学)

東京大学の長藤圭介准教授は粉体の塗布成膜工程をロボット実験で最適化した。... クラックを抑える成膜条件が見つかった。

同社は近隣の工場で半導体成膜工程に用いる「高誘電材料」など先端半導体向けの材料を手がけ、増産やラインアップ拡充に取り組んでいる。

エッチングや成膜工程など半導体製造工程に不可欠なガスの生産体制を構築し、欧州地域での供給能力を強化する。 ... 半導体製造には全工程で約30種類のガスが使用される。

ADEKA、埼玉拠点に開発新棟 半導体関連材料向け (2023/11/23 素材・建設・環境・エネルギー)

850平方メートル超のクリーンルームを整備し、各種分析設備や成膜評価設備などを導入。... 成膜工程に用いるALD(原子層堆積)材料や成膜助剤、後工程向けのプロセス材料など半導体関連材...

三井金属、次世代半導体実装材の増産投資決定 協業先に第2ライン (2023/5/17 素材・建設・環境・エネルギー2)

成膜工程部分におけるジオマテックの設備投資額は9億円。... 顧客との開発体制を加速させることで、半導体パッケージ製造にかかる工程数や時間といったサイクルタイムの短縮を実現する。

ADEKA、韓国で高誘電材料増強 次世代半導体に対応 (2023/5/9 素材・建設・環境・エネルギー1)

半導体成膜工程で使われる「高誘電材料」のラインアップを拡充する。... 絶縁膜を形成し回路上を電気が正しく流れるために使われる。

新規のp型半導体「酸化イリジウムガリウム」の成膜工程に使うことで結晶の成長速度を従来比10倍以上とし、埋込性の改善にも寄与する。... 新しい成膜材料は、結晶成長の際にトレンチ内部における成膜安定性と...

ADEKA、韓国R&D拠点増強 半導体用材料の需要増に対応 (2023/2/28 素材・医療・ヘルスケア)

新拠点は主に半導体成膜材料の評価・分析業務を担い、先端分野を中心とした半導体メーカーの需要に応える。... ADEKAは韓国・完州郡の工場で半導体の成膜工程に使う高誘電材料の増産を決めるなど、韓国と台...

ブイ・テクノロジーは自社が扱う検査装置と組み合わせて、成膜工程や洗浄工程などで相互補完できるとみて買収を決めた。

堀場、半導体製造歩留まり改善 微細化対応で新製品 (2022/12/13 機械・ロボット・航空機1)

高速ガス制御・真空精緻管理 【京都】堀場製作所は半導体の製造工程向けに、歩留まり改善や生産性向上につながる新製品2種を2023年1月に発売する。... 成膜工程向けの四重極形質量分析...

魁半導体、プラズマCVD新技術 成膜効率・安全性を向上 (2022/9/20 電機・電子部品・情報・通信)

【京都】魁半導体(京都市下京区、田口貢士社長)は、半導体や次世代太陽電池で重要な成膜工程の生産効率と安全性を高め、複合機能を持つ薄膜開発も可能な業界初のプラズマCV...

ADEKA、韓で半導体材料増産 DRAM向け (2022/7/26 素材・医療・ヘルスケア2)

ADEKAは半導体の成膜工程に使う高誘電材料「アデカオルセラ」シリーズを韓国で増産する。... 同社は高誘電材料やエッチングガスなど半導体前工程向けの材料で高シェアを持ち、高誘電材...

半導体関連の世界的な需要増に対応し、半導体成膜工程で使われる治具部品などの生産を拡大する。 また、従来は中国工場でのみ対応していた一部工程をけやき台工場に整備し、日本国内での一貫生産...

インプラントへのアパタイト成膜法としては、溶射法などの熱的プロセスが主流である。... 過飽和溶液法は耐熱性に劣る基材にも適用できる一方、複雑な前処理を含む数日以上の成膜工程を必要とした。 &...

当社の核となる製品であり、主に半導体ウエハーのエッチングや成膜工程、FPDのパネル搬送用ロボットの回転機構部等に導入され、密閉空間を外部から隔離。... ◇石英製品 ...

同ベンチャーはペロブスカイト太陽電池の作製のカギとなるペロブスカイト膜を自動で成膜できる研究用小型ロボットを開発し、2021年中にも販売する。これまでペロブスカイト膜の成膜は手作業で作られていたため、...

セラミックヒーターやヒーターを内蔵した静電チャックは、主に化学気相成長(CVD)装置などの成膜工程で使われる。2―3度Cの違いで膜厚に影響が出るため、均熱性に対する要求レベルは高い。&...

有機半導体の光センサー、放射線パルス検出 東芝が成功 (2019/9/5 電機・電子部品・情報・通信2)

開発したフィルム型有機光センサーは、有機半導体層の材料最適化と成膜工程の改良を施し、光検出効率80%以上を実現した。

半導体製造の成膜工程は、治具にも成膜してしまう。治具に残った成膜は、膜厚の制御に影響するため洗浄が不可欠だ。

受注した精密塗工システムは、フレキシブル有機ELの基板となるポリイミド樹脂の成膜工程を担う。... 後工程でその上にフレキシブル有機EL層を形成する。最終工程でガラス基板から剥離すると、フィルム基板の...

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