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DICと子会社のトピック(埼玉県川口市)は静電気による放電破壊を防止するフォトマスクを開発した。... フォトマスクの遮光層に金属クロムが使われている場合、使用中に発生する静電気により...
静電気放電破壊は半導体微細化技術の進展で、その影響が大きくなっている。新技術により、セットメーカーは放電破壊を起こさずに最先端システムLSIを基板に実装できる。 ... しかし電源分離された複...