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材料科学技術振興財団(増島勝理事長)は、第10回山崎貞一賞の受賞者に、原子間力を使い高速で動作する顕微鏡を開発した金沢大学の安藤敏夫教授ら4分野5人を選んだ。... 【材料分野】武知敏...
次世代のリソグラフィー技術として、32ナノメートル(ナノは10億分の1)の微細線幅を実現する「極端紫外線リソグラフィー技術」の応用が可能なレジストのサンプル出荷を秋に始める。 ...
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2024/04/25
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