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フッ化水素など3品目の韓国向け輸出の管理が4日、強化された。... 1日に突然の発表を受け、情報収集に追われた素材各社も今は粛々と対応している。... 半導体の回路パターンを転写する工程に使うレジスト...

国内半導体素材各社は、政府による突然の韓国向け輸出管理強化を受けて情報収集に追われた。... 例えば今回対象となるレジストは、極端紫外線(EUV)光源や電子線(EB)を露光手段に用いた製造工程向けの製...

化学各社、EUV向け素材の供給体制整備 (2019/6/27 素材・医療・ヘルスケア)

化学各社は最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光工程向け素材の供給体制を整備する。... KHネオケムは半導体のリソグラフィ工程(フォトレジスト)向けに高純度溶剤でE...

1日開幕した「セミコンジャパン」では、素材メーカー各社が半導体回路の微細化や高密度パッケージに対応する先端素材を出展している。特に露光光源に極端紫外線(EUV)光源を使う最新リソグラフィー技術用素材な...

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