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半導体に回路パターンを焼き付ける露光工程向けの感光材「フォトレジスト」は、液浸フッ化アルゴン(ArF)露光などに対応する最先端製品の生産能力を19年度比2・25倍に引き上げる。... ...

中国では西安市と常州市に洗浄用薬品の高純度化を行う工場を持っており、その近隣に建屋を建設し、設備を増設する。... 半導体に回路パターンを焼き付ける露光工程向けの感光材「フォトレジスト」は、液浸フッ化...

ニュース拡大鏡/住化、5G関連素材の事業化を加速 (2020/10/26 素材・医療・ヘルスケア)

同技術で生産した半導体は小型化・高性能化でき、情報処理量の多い5G機器向けで需要が増えると期待される。 ... 現在、100層以上の半導体の中でEUV露光はわずか数層で、大半は液浸フ...

化学各社、EUV向け素材の供給体制整備 (2019/6/27 素材・医療・ヘルスケア)

EUV露光を使った半導体の生産も始まっており、EUV材料市場が本格化しそうだ。... EUVは研究開発に長い期間を要し、この間、液浸フッ化アルゴン(ArF)露光技術の進化が進んだ。回路...

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