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省エネ大賞で受賞したのは「インバータオイルフリー真空ポンプ・ブロワー『KCEシリーズ』」。山田文彦真空システム事業部長は「省エネだけでなく、人手不足解消にも貢献できる」とした。
【アルバック、ガスモニターを小型で保守しやすく/荏原、真空ポンプ集中監視システム】 真空機器・真空装置の総合展示会「VACUUM2023真空展」が29日、東京・有明の東京ビ...
【静岡】アイエイアイ(静岡市清水区、石田徹社長)は、手のひらサイズの吸引搬送用の小型・軽量電動真空ポンプを開発した。... エアを使わず、内蔵する電動真空ポンプへの...
小型・軽量でロボットの先端近くに設置できる吸着搬送用の電動真空ポンプなども自信作だ」 ―今後の成長に向けて重視する点は。
【伯東/独社製の真空関連部品紹介】 伯東は真空炉・コーティング装置向けの独ファイファーバキューム製の部品や真空ポンプ、真空計、真空バルブ、ヘリウムリーク...
【キヤノンアネルバ/半導体製造装置向け真空計】 キヤノンアネルバ(川崎市麻生区)は、半導体やソーラーパネル製造装置の真空チャンバー内の圧力を高精度に測る真空...
【エドワーズ/ドライ真空ポンプ小型軽量化】 エドワーズ(千葉県八千代市)は、「mXDS3ミニスクロールポンプ=写真」を展示する。
真空ポンプの一種で、水素や水蒸気の排気速度が速い。個別制御が可能なマルチポンプシステムにより、圧縮機1台で最大11台の8インチポンプを運転できる。... 【佐藤真空/真空乾燥・ベーキング装置...
【荏原/小型空冷式ドライ真空ポンプ】 荏原は小型の空冷式ドライ真空ポンプ「EV―SA型=写真」を出展する。... 排気系全体を遠隔監視し、ドライ...
容器が電源不要なポンプ 最先端の半導体生産現場では超高真空の状態が求められる。そのためには大型の真空ポンプが必要だが、日本原子力研究開発機構では真空容器の壁にチタンを使用し気体を吸着...
排ガスがアミンを通過するとCO2は液中に吸収されるが、CO2を取り出すためには溶液を加熱したり真空にしたりする処理が必要。 ... 気体のCO2をドライアイスにすると、装置内が真空と...
テクノロジックは製造を全て海外で行うとともに、国内でのカスタマイズはバキュームテーブルの真空ポンプと集塵機のみにとどめることで、低コスト化を実現した。
半導体市場の拡大により、製造工程に真空環境を提供するドライ真空ポンプの保守需要が伸長している。... そうなるとポンプの動きが止まってしまう。... オーバーホールではポンプを分解して固形物を取り、洗...
荏原は今秋までをめどに、韓国で半導体製造に使うドライ真空ポンプ(写真)のオーバーホール工場を稼働する。... ドライ真空ポンプは半導体製造工程に真空環境を提供する装...
化学機械研磨(CMP)装置、ドライ真空ポンプなど半導体関連が需要拡大を追い風に好調で、全体をけん引。カスタムポンプやコンプレッサー・タービンの収益改善も寄与した。 ....
同工場は主に半導体や液晶パネルの製造工程に必要なドライ真空ポンプを製造している。... 増築によりドライ真空ポンプの生産能力は約2倍になる。... 同工場ではドライ真空ポンプのほか、同ポンプと樫山工業...
