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紫光技研、業務用の除菌消臭装置開発オゾン発生量を柔軟調整（2021/5/11 中小・ベンチャー・中小政策）

水銀を使わない安全な方式の真空紫外線光源デバイスを活用し、オゾンを発生させる。... 近年は同技術を応用し、水銀を使わない深紫外線光源モジュールによる水道管向けの殺菌装置を開発している。今回はより波長...

光学技研、広帯域の位相子開発半導体検査装置向け（2021/3/8 東日本）

微細化の進展で半導体の製造装置や検査機では、従来の位相子より短い真空紫外線(UV)の波長を使って露光や検査をする必要が出てきている。

VACUUM2020真空展 ONLINE/注目の製品・サービス(3) （2020/10/16 機械・航空機）

佐藤真空/真空ベーキング装置、特注製作佐藤真空(埼玉県三芳町、049・258・1116)は、真空ベーキング装置「DHシリーズ=写真」を紹介する。....

紫光技研、家庭向け小型オゾン発生装置プラズマTV技術応用（2020/8/26 機械・航空機１）

プラズマテレビ技術を真空紫外線発生に応用した家庭向けオゾン発生装置の第1弾。... 「はこべ」は真空紫外線で発生するオゾンの力で部屋などを消臭、殺菌する。

サムコ、マイクロ流体チップ用の小型接合装置年内発売（2018/4/23 機械・ロボット・航空機１）

従来の接合は真空紫外線照射と加熱が必要だった。

振動や真空、紫外線で不具合が起きないよう、カプセルはチタン削り出しで加工。

【浜松】浜松ホトニクスは29日、真空容器内での薄膜半導体ウエハー搬送時に静電気を除去する装置「VUVイオナイザ=写真」のサンプル出荷を12月10日に始めると発表した。... 同装置は重水素ラン...

ヘレウス、半導体向けの表面改質紫外線モジュールを国内販売（2012/2/14）

ヘレウス(東京都千代田区、土屋淳社長、03・5215・3921)は13日、半導体・電子部品向けの高性能表面改質用紫外線モジュールを国内で販売すると発表した。同モジュールはグループの独ヘ...

岩崎電気など、安価で操作簡単な活性酸素検出モニター開発（2011/5/11）

開発したモニターは、水晶振動子上にターゲット材料を真空中でたたき出すことで形成した有機系薄膜が活性酸素と反応し、薄膜が分解・除去する際の質量減少量に着目。... 一般的には活性酸素の生成量を計測するに...