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オランダ半導体製造装置メーカーのASMLホールディングの2023年第4四半期(10―12月期)決算は、売上高と純利益が予想を上回り、受注も過去最高に達した。
次世代のEUVペリクル開発に関しては蘭ASMLや、ベルギー研究機関のimec(アイメック)と連携する。
一方、蘭ASMLとは極端紫外線(EUV)装置で現状2回露光しているのを1回に減らすため、前後の工程でどのような処理が必要かなどを共同で研究しており、良い結果が出始めている。
蘭ASMLのクリストフ・フーケ副社長は、ラピダスがパイロットラインを立ち上げる2025年までに極端紫外線(EUV)露光装置の導入準備を進めるほか、台湾積体電路製造(TSMC&#...
貼り合わせなど3次元(3D)化技術に対応した新製品の販売で、新たな柱も立ち上げていく」 ―営業利益率では蘭ASMLが上を行きます。
蘭ASML、キヤノン、ニコンの大手3社のうち、唯一極端紫外線(EUV)露光装置の開発に成功しているASMLが市場トップを独走する。... こう力を込めるのは、ASMLジャパン(...
露光装置最大手の蘭ASMLは、部材の逼迫に加え、物流管理センターの立ち上げに問題が生じたことで、一部装置の組み立て開始が数週間遅れた。
同社はEUV露光装置メーカーの蘭ASMLからEUVペリクルの技術供与を受け、5月までに岩国大竹工場(山口県和木町)で生産設備の商業生産を開始した。
EUV露光装置を手がける蘭ASMLが、露光工程の歩留まり低下を防止する「ペリクル(防塵カバー)」を量産用途のEUV向けで初めて開発した。... ASMLは双方を両立したEUVペリクルを...
東京エレクトロンは8日、ベルギーの研究機関imecと蘭ASMLが共同で運営するオランダの研究所「imec―ASML共同高NA EUV研究所」に自社の最先端の塗布現像装置を導入すると発表した。同...
三井化学はEUV露光機を生産する蘭ASMLから技術供与を受け、同社から生産移管する形でフォトマスク保護膜「EUVペリクル」の商業生産を始めた。ASMLが認める三井化学の“正規品”以外を使い、露光機が故...
蘭ASMLは、21年12月期の売上高予想を、1月時点では前年比で2ケタ増収を目標としていたところ、同30%増に上方修正。
同製品の技術を持つEUV露光装置メーカーの蘭ASMLからライセンス提供を受け、生産する。... 今後、EUV露光装置の進化に合わせて、ASMLと協力し、EUVペリクルの技術改良に取り組む。 &...
