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最も市場規模が大きい露光装置では蘭ASMLが圧倒的シェアを握るが、日本企業がほぼ独占する市場も多い。

同社はEUV露光装置メーカーの蘭ASMLからEUVペリクルの技術供与を受け、5月までに岩国大竹工場(山口県和木町)で生産設備の商業生産を開始した。

EUV露光装置を手がける蘭ASMLが、露光工程の歩留まり低下を防止する「ペリクル(防塵カバー)」を量産用途のEUV向けで初めて開発した。... ASMLは双方を両立したEUVペリクルを開発。... そ...

東京エレクトロンは8日、ベルギーの研究機関imecと蘭ASMLが共同で運営するオランダの研究所「imec―ASML共同高NA EUV研究所」に自社の最先端の塗布現像装置を導入すると発表した。同研究所は...

三井化学はEUV露光機を生産する蘭ASMLから技術供与を受け、同社から生産移管する形でフォトマスク保護膜「EUVペリクル」の商業生産を始めた。ASMLが認める三井化学の“正規品”以外を使い、露光機が故...

半導体装置、需要拡大続く 5G・IoT向けけん引 (2021/6/3 電機・電子部品・情報・通信2)

蘭ASMLは、21年12月期の売上高予想を、1月時点では前年比で2ケタ増収を目標としていたところ、同30%増に上方修正。

同製品の技術を持つEUV露光装置メーカーの蘭ASMLからライセンス提供を受け、生産する。... 今後、EUV露光装置の進化に合わせて、ASMLと協力し、EUVペリクルの技術改良に取り組む。 &...

欧州には半導体大手の独インフィニオンテクノロジーズやスイスのSTマイクロエレクトロニクス、蘭NXPセミコンダクターズがおり、当然ファウンドリーを活用している。 ... 最も重要な露光...

最も重要な露光装置は蘭ASMLが市場を独占するものの、検査や感光剤の塗布・現像など周辺装置分野では日本勢が高いシェアを持つ。

活況!半導体製造装置(5)キヤノン常務執行役員・武石洋明氏 (2020/12/9 電機・電子部品・情報・通信1)

貿易法務部門と連携し、きめ細かな情報収集が必要となる」 【記者の目/ナノインプリントを軌道に】 半導体露光装置市場はキヤノン、ニコン、蘭ASMLの大手3社が占める。...

活況!半導体製造装置(1)東京エレクトロン社長・河合利樹氏 (2020/12/3 電機・電子部品・情報・通信1)

ただ、米アプライドマテリアルズや蘭ASML、米ラムリサーチといった他の世界トップ企業と比べると、営業利益率は最も低い。

化学各社、EUV向け素材の供給体制整備 (2019/6/27 素材・医療・ヘルスケア)

三井化学は蘭ASMLとの間でEUV露光用フォトマスクの防塵カバー「ペリクル」のライセンス契約を結んだ。ASMLはEUV露光装置とEUV用ペリクルを開発した唯一の企業で、同社の開発した技術をもとに三井化...

三井化、蘭ASMLと契約 岩国大竹工場に新設備 (2019/6/3 素材・医療・ヘルスケア)

三井化学は最先端の半導体微細加工技術である極端紫外(EUV)露光工程向け部材のライセンス契約を蘭ASMLとの間で結んだ。ASMLの技術をもとに、三井化学はEUV露光フォトマスクの防塵カバー「ペリクル」...

ニコン、3社間の訴訟和解 (2019/1/24 電機・電子部品・情報・通信1)

ニコンは露光装置とデジタルカメラの特許に対する訴訟手続きについて同社と蘭ASML、独カール・ツァイスSMTの3社が包括的和解で基本合意したと23日に発表した。

ニコンは24日、同社の半導体露光装置の特許を侵害しているとして、蘭ASMLと独カール・ツァイスに対してオランダとドイツ、日本の3カ国で訴訟を提起したと発表した。... 第1審の判決は、蘭独で2018年...

現状、ニコンは先端技術では蘭ASMLに完敗し、フッ化クリプトン(KrF)など旧式装置では低価格と短納期が強みのキヤノンに勝てない。

ニコン、国内1000人削減へ 半導体製造装置不振で構造改革 (2016/11/9 電機・電子部品・情報・通信1)

半導体製造装置事業では最大手の蘭ASMLへの対抗は難しいと判断し、最先端の液浸タイプのフッ化アルゴン(ArF)露光装置開発を大幅に縮小する。

(ブルームバーグ) サムスン電子は、18日、蘭ASMLや米 シーゲート・テクノロジー、 米ランバス、 シャープの株式を売却したと電子メールで発表した。 ...

地道に顧客ニーズにマッチした製品を提供し、信頼を勝ち取り販売を伸ばしていく」 【記者の目/蘭ASMLの厚い壁に挑む】 キヤノンは半導体露光装置の主力拠点である宇都宮...

半導体前工程製造装置(14年)でも、米アプライドマテリアルズ、東京エレクトロン、蘭ASMLといったトップ5で67%、さらにシリコンウエハーでは日本の信越半導体、SUMCOの2社で52―53%を占める。...

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