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記事検索結果
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EUV露光に対応するEUVマスクは描画パターンが多く、描画時間を大幅に短縮できるマルチ電子ビーム描画装置での製造が主流。
エリオニクスは、電子ビーム描画装置のエントリーモデル「ELS―ORCA」を発売した。上位機種と同じ制御システムを搭載して高い描画性能を実現しつつ、価格を抑えた。
【立川】エリオニクス(東京都八王子市、七野実社長)は、電子ビーム描画装置のエントリーモデル「ELS―ORCA=写真」を13日に発売する。上位機種と同じ制御シ...
【電子ビーム金属3Dプリンター JAM-5200EBM】 日本電子は電子顕微鏡や半導体用電子ビーム描画装置で培った電子ビーム制御技術を応...
同社初の金属3Dプリンターで、半導体製造用電子ビーム描画装置で培った技術を生かした。... 電子ビームの最大出力は6キロワット。... 電子ビームの照射位置により、焦点や形状の歪みを自動補正する。
【立川】エリオニクス(東京都八王子市、七野実社長、042・626・0612)は、同社従来製品比4倍となる走査速度400メガヘルツ(メガは100万)を実現した電子ビーム描...
回答企業は、電子ビーム描画装置のエリオニクス(東京都八王子市)や半導体研磨加工の秩父電子(埼玉県秩父市)、計測機器や試験装置開発のスペースクリエイション(浜松市...
【立川】エリオニクス(東京都八王子市、岡林徹行社長、042・626・0612)は、超高精細・高精度電子ビーム描画装置「ELS―F150=写真」を3月以降に発売する。... EL...
医用機器事業のメディカル分野は国内向けの生化学自動分析装置やOEM(相手先ブランド)による免疫分析装置が好調。... 例えば富士レビオの製品と連携させる免疫・生化学検査装置や、電子顕微...
(談) ◎FA関連装置や産業用ロボットの製造。... 当社の電子ビーム描画装置や検査装置は最先端の研究開発や生産プロセスに用いられ、主なユーザーは公的研究機関や大学、...
【立川】エリオニクス(東京都八王子市、岡林徹行社長、042・626・0612)は、半導体集積回路の描画枚数(スループット)を同社従来機比で1時間当たり100倍以上に高め...
(編集委員・神崎明子) 【独自技術・高シェア企業調査−更新意欲旺盛も海外動向で慎重】 電子ビーム描画装置のエリオニクス(...
高精度電子ビーム描画装置や3次元粗さ解析走査電子顕微鏡などの計測分析装置を主力にするエリオニクス。... 現在の電子ビーム描画装置の最小線幅は4ナノメートル(ナノは10億分の1)。.....
研究開発向け電子ビーム描画装置を主力に、最先端のナノテク製品を開発・製造してきた。岡林社長は「バブル崩壊で苦境に陥った時期に開発した超高精度電子ビーム描画装置が好評となり『ナノテクノロジーのエリオニク...
