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静電チャックを製造する中津工場(大分県中津市)では次の需要期に向け、住設事業に先行して製造現場の自動化・無人化を進めており、効率化を図っている。

キラ・コーポ、自動芯出し機能提供 難削材加工機向け (2024/3/12 機械・ロボット・航空機2)

半導体回路を形成するエッチング装置に使う静電チャックなどの外周の面取り加工向けに提案する。 ... 主なワークはエッチング装置に使う静電チャック、フォーカスリング、シャワープレートを...

セメント大手トップに聞く(中)住友大阪セメント社長・諸橋央典氏 (2024/1/31 素材・建設・環境・エネルギー2)

今は我慢の時期だが、成長軌道に乗れるよう静電チャック(ESC)の設備投資を決めた」 ―脱炭素の施策は。

北九州工場と東京工場では、エッチング装置の静電チャックやチャンバーパーツ向け溶射を手がける計画。

住友大阪セメ、半導体製造部品を増強 千葉・市川に新棟 (2023/9/19 素材・建設・環境・エネルギー)

住友大阪セメントは、市川事業所(千葉県市川市)において、半導体製造装置の主要部品である静電チャック(ESC)の生産能力増強と、新製造棟の建設に向けた...

新社長登場/トーカロ・小林和也氏 半導体分野、3D積層開拓 (2023/8/2 機械・ロボット・航空機1)

12月完成予定の台湾第3工場のほか、国内拠点の能力増強も進める」 《液晶画面の大型化競争が加速した05年ごろには、溶射を受託していた液晶パネル製造装置用静電チャックの大型化への対応に...

激動の経営/キラ・コーポレーション(3)ターゲットは半導体 (2023/7/18 中小・ベンチャー・中小政策)

半導体ウエハーの製造工程で使われる静電チャックの加工では、熟練者が時間をかけて行っていた位置決め作業の大幅な効率化を実現する。

レボメイトと静電チャックなどで、ここから伸びる半導体分野のシェア獲得を目指す」 ―グループ全体で「クロスセールス」が始まりました。

当社単独での取り組みに加え、例えば他のセメントメーカーとトラックを融通し合ったり、各社の拠点を巡回して運んだりする工夫も求められるかもしれない」 【記者の目/半導体向けES...

近年の半導体需要の拡大を受け、NTKセラテックでもウエハーを固定するための静電チャックをはじめ、耐熱性や耐腐食・摩耗性に優れた構造用セラミックス部品の受注が急増している。特に静電チャックには温度分布の...

2022国際ロボット展/紙上プレビュー(5) (2022/2/25 機械・ロボット・航空機)

クリエイティブテクノロジー/優しくつかむハンドツール クリエイティブテクノロジー(川崎市高津区)は、静電チャックや特殊樹脂パッ...

半導体製造装置向けのガス吹き出しノズルや静電チャックなどアルミコア部品の増産に対応する。

「半導体製造装置向け主要部品である静電チャック(ESC)の生産能力を2倍にすることを決めた。

住友大阪セメントは半導体製造装置の需要拡大を受け、主要部品の静電チャック(ESC)の生産能力を現状比2倍にする。

サムコ、工程モジュール3室搭載 電子デバイス製造クラスターツール (2021/12/14 電機・電子部品・情報・通信1)

プロセスモジュールは最先端の誘導結合プラズマ(ICP)に対応し、静電チャック、排気システム、電極間隔可変機構を備えた。

「電気絶縁技術を応用したICパッケージ用リードフレーム固定テープや、半導体製造装置向けでシリコンウエハーを固定する静電チャックなどがある。... 「耐電圧・耐プラズマ性能を向上させた新型の静電チャック...

【長野】新光電気工業は4日、半導体市場の需要拡大に対応するため、長野県内に高性能半導体向けフリップチップタイプパッケージの新工場や、半導体製造装置部品のセラミック静電チャ...

【アルミナの10倍】 AINセラミックスはシリコンウエハーから熱を逃がすサセプターや静電チャックといった半導体製造装置用部品、電子基板に取り付けるLED素子下の基板、放熱樹脂(...

前工程の半導体製造装置で、加工時シリコンウエハーから熱を逃がす部品(静電チャック)や、パソコンなど電子基板上でLED素子下の基板などに使う。測定方法の違いもあるが、熱伝導率が200ワッ...

クリエイティブテクノロジーは売上高の9割以上を半導体関連が占めるが、強みのある静電チャック技術を用いた新市場開拓やBツーC市場向け製品の開発・展開を進める。

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