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VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(2) （2022/10/4 機械・ロボット・航空機２）
【アルバック/真空装置プロセス管理】 アルバックは「ピラニ真空計SW100」を出展する。... 真空装置のプロセス管理に貢献する。 &...
堀場、半導体製造用真空計 高温域で安定計測 （2020/12/15 機械・ロボット・航空機１）
【京都】堀場製作所は半導体製造ライン向けの静電容量型隔膜真空計で高温環境対応の新製品「VG―500=写真」を発売した。成膜やエッチング工程などで真空度を測る装置。
