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カーリットHD、超高平坦ウエハー増産 0.1マイクロメートル技術を確立 （2024/3/13 素材・建設・環境・エネルギー２）
高平坦ウエハーはサンプル提供の中で、2025年度以降の実用化が想定される案件も出ている。... 23年末には引き上げ炉や0・01マイクロメートルの分解能を持つ高平坦度ウエハー用の平坦度測定機の導入など...
カーリット、小口径ウエハー・電子材料の生産増強 成長分野にリソース集中 （2022/9/22 素材・医療・ヘルスケア１）
加えて、微小電気機械システム(MEMS)向けに新たに生産を始めた超高平坦ウエハーなどの高付加価値品を拡大する。 ... 金子洋文社長は「これまで短期視点かつ売上高重視...
沸騰・半導体市場 素材各社の戦略(32)カーリットHD、MEMS向け （2021/12/23 素材・医療・ヘルスケア２）
7月から微小電気機械システム(MEMS)向け超高平坦度ウエハーの販売を始めた。... 超高平坦品の平坦度は1マイクロメートル(マイクロは100万分の1)。... この違...
シリコンテクノ、MEMS向け超高平坦ウエハーを事業化 （2021/12/3 素材・医療・ヘルスケア）
シリコンテクノロジー(長野県佐久市、滝崎博明社長)は、微小電気機械システム(MEMS)向けに平坦度1マイクロメートル以下(マイクロ...
工作機械技術振興財団、振興賞と研究助成対象23件を選定 （2013/6/4）
(敬称略) 【振興賞・論文賞】▽「銅の超平滑化技術に関する研究 ナノバブル水と真空紫外光を用いた仕上げ研磨」桐野宙治、榎本俊之(ク...
