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ガス4種を1台で同時測定 理研計器、半導体工場向け装置開発 （2020/11/16 機械・ロボット・航空機１）
これまで1台で1種類の測定だったが、高機能ガス検知センサー「Fセンサ」を採用し小型化した。半導体工場では毒性ガスや可燃性ガスなど数十種類を数千―1万台の検知部で管理している。... 小型化したセンサー...
